等离子体刻蚀和智能剥离SOI技术中离子的神奇作用.pptVIP

微纳米技术中离子的神奇作用 孙洁 P于盎宁 P 中科大外语系 合肥 230026 本文介绍了离子束雕刻技术，等离子体刻蚀和智能剥离SOI技术中离子的神奇作用。 基本内容 智能剥离SOI 等离子体刻蚀 离子束雕刻 Title: The Wonderful Functions of Ions in Micro-Nano Techniques Authors: Yu Angning Sun Jie Abstract: This paper reviews the wonderful functions of ions in the ion-beam sculpting, the plasma etching and the smartcut SOI techniques. Key words: ion-beam sculpting plasma etching smart cut SOI 离子束雕刻(ion-beam sculpting) 离子束雕刻技术是一种利用能量为KeV量级的 离子束在常温下对材料表面（约5nm深）进行微细 加工的技术。与传统的技术相比，离子束雕刻技 术可加工的材料更广泛，可达到的尺度更微小。 [1][2] 在离子束雕刻