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製程注意重點 內三盲孔製作： ● 蝕刻首五件AOI→底片無誤 ● 雷鑽靶檢視→對位無誤 ● 雷鑽：孔型控制 70 ~ 80 % ● 水平鍍銅：面銅 1 Oz ● 曝光須知： ? 1. 誤差值 65 um 以內，最大 ? 不得超過 80 um ? 2. 少量拒曝以 65 um 3 孔曝 ● 使用川寶曝光機 ? 或現場調配外層曝光 製程注意重點 內三線路製作： ● 使用川寶曝光機(或外層) ● 蝕刻首五件AOI→底片無誤 ● 同心圓檢視→對位無誤 ● 曝光須知：如銅窗 ? 1. 誤差值 65 um 以內，最大 ? 不得超過 80 um ? 2. 少量拒曝以 65 um 3 孔曝 ? 3. 曝光後目檢對準度，不得 ? 破 Ring 製程注意重點 三壓 (銅窗/外層壓合)： ● 菊花靶打靶：見靶打靶 ? 確定最佳準度 P.S. 相關規定見製程管制要點 ● 二撈：使用125 mil 銑刀 ? ? ?