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SBC-2-I 表面处理机使用说明书 SBC-2-I表面处理机 使 用 说 明 书 成都中科唯实仪器有限责任公司 Chengdu Zhongke Wish Instruments Co.,Ltd SBC-2-I 表面处理机使用说明书 概 要 SBC-2-I型多功能试样表面处理机是为扫描电镜和电子探针 等进行试样制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅 射，它也可以在高纯氩气的保护之下进行多种离子处理。用本 设备处理的试样既可用于样品的外貌观察又可以进行成分分 析，尤其是成分的定量分析更为适宜。本仪器装有机械泵、分 子泵，分子泵系统特别适用于对真空要求高、真空环境好的用 户选用。 ※ 主要用途：真空镀膜，离子溅射，真空蒸碳等。 ※ 主要特点：抽速快，操作简便，真空度高，安全可靠。 规 格 一、试样处理室 （1）钟罩：内径250mm×高度340mm （2）玻璃处理室： 玻璃罩 A:内径88mm×高度140mm 玻璃罩 B:内径88mm×高度57mm （3）试样台：直径40mm （最大） （4）试样旋转：电动 （5）挡板：电动 （6）蒸发加热器：可同时安装两个加热器 1 SBC-2-I 表面处理机使用说明书 二、真空系统 （1）抽气系统：由分子泵、机械泵组成的高真空机组 （2）真空检测：金属电阻规、冷规 -2 - 3 （3）常用真空度：1.3×10 — 6.0×10 Pa （4）操作：手动 三、处理电源： （1）高压电源：DC 2000V 10mA连续可变，用表指示。 （2）低压电源：AC 10V 60A连续可变，电流用表指示。 四、体积重量： （1）体积：L800mm×W560mm×H1340mm （2）重量：约150公斤 五、电源要求：AC 220V 50Hz 10A 六、气体要求：氩气--纯度99.9%(对样品有特殊要求时可使用) 七、冷却要求： 本系统采用F100/110F普通轴承风冷涡轮分子泵，其冷却方式为风 扇强制风冷、通水冷却两种，当工作环境温度低于摄氏32度时，可 采用风冷冷却，当工作环境温度高于摄氏32度时，则必须采用水冷。 目前本系统标配为风扇风冷形式。 组成、结构和安装 一、组成：SBC-2处理机主要由以下五部分组成 （1）起主体作用的试样处理室； 2 SBC-2-I 表面处理机使用说明书 （2）提供高真空的真空系统； （3）调节控制用的控制面板； （4）给真空蒸发、离子处理、分子泵、机械泵、真空控制、真空测 量供电的供电系统； （5）专为离子处理提供高纯氩气的充气系统。（需要时用户自备） 二、结构： （1）处理室：在机柜上方的钟罩内。 （2）真空系统：抽气机组有：分子泵、机械泵、钟罩、放气阀、充 气用微调阀，以及真空测量用的金属电阻规和冷规。整个机组在机 柜后方。真空系统如图 （1） （3）电气系统：电气系统分控制部分和供电部分。 控制部分：有真空控制、真空测量等； 供电部分：分直流供电和交流供电。 ※ 直流供电：  离子处理电流：DC 2000V 10mA  旋转试样