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PDHID(脉冲放电氦离子化检测器)色谱仪 在超纯、高纯气体分析领域中的应用 章复康 上海科创色谱仪器有限公司 2012年1月 上海科创色谱仪器有限公司 PDHID(脉冲放电氦离子化检测器)的结构 上海科创色谱仪器有限公司 PDHID(脉冲放电氦离子化检测器)的工作原理 PDHID上部有一个放电区，脉冲高压加在两个电极上，产生辉光放电。 产生的紫外光使载气He原子由基态跃迁到各个能级的亚稳态激发态，生 3 ＋ 2 成亚稳态氦原子He* （2 S,19.8eV）氦离子He 1S S1/2,24.5eV），这 些高能态的He粒子进入下面的电离室与被测组分的分子碰撞，使其电离 成分子离子，在极化电压的作用下，向离子收集极运动。 收集极接收到被测组分离子产生微电流，经信号放大器放大后得到一个 与组分浓度相对应