犔犈犇芯片取光结构研究现状与发展趋势.PDFVIP

第 卷 第 期 中 国 表 面 工 程 ２５ ３ Ｖｏｌ．２５ Ｎｏ．３ 　 　 　 　 　 年 月 ２０１２ ６ ＣＨＩＮＡＳＵＲＦＡＣＥＥＮＧＩＮＥＥＲＩＮＧ Ｊｕｎｅ ２０１２ ： ／ ｄｏｉ１０．３９６９ ．ｉｓｓｎ２０１２．０３．００２ ｊ 犔犈犇芯片取光结构研究现状与发展趋势 １ ２ １ 万珍平 ，赵小林 ，汤 勇 　 （ 华南理工大学 机械与汽车工程学院，广州 ； 邵阳学院 机械与能源工程系，湖南 邵阳 ） １．