PECVD常见问题及解决方案.docVIP

SiNA L 常见问题及其解决方案 报警内容 出现场合 可能原因 解决方案 Process chamber: water failure WW14(或者是15、16、17，即等离子源冷却水流量过低) 启动等离子源后半分钟到2分钟之内 不明，但是和冷却水水压有关 等待冷却水自动恢复正常，出现黄色报警后按F8键确认收到报警。 若冷却水长时间流量不够会导致微波源自动停止，这种情况下应首先停止工艺，然后关闭软件，调整冷却水压后重新启动软件。 结束工艺后往工艺腔中填充氮气的时候 System: water failure WW5 (或者是其它数字序号) 刚刚开机的时候； 启动等离子源半分钟到2分钟之内。 冷却水流量不过，原因是水压超出正常范围 首先关闭停止工艺，关闭软件，调整冷却水进水口和出水口的水压进水3±0.2bar，出水2±0.2bar，再启动软件 Load chamber: water failure WW1 （或是其它数字序号） Process chamber: water failure WW3（或其它数字序号） Microwave 7: gen. error (1-8号任意一个等离子源，即微波源有错误不能启动) 刚刚启动控制软件的时候 不明，但与冷却水压有关 关闭软件，重新启动控制软件 启动等离子体后0.5-2分钟内 一般是由于冷却水流量报警时间超过微波电源的最长允许时间所致。 停止工艺，关闭软件，重新调整冷却水压，进水3±0.2bar，出水2±0.2bar，再启动软件 Microwave 7: interlock error 启动等离子体后0.5-2分钟内 这几个错误一般同时发生，一般是由于冷却水流量报警时间超过微波电源的最长允许时间，微波电源启动安全联锁(interlock)。 停止工艺，关闭软件，重新调整冷却水压，进水3±0.2bar，出水2±0.2bar，再启动软件 Process chamber: error Filament microwave 7 Process chamber: error main power microwave 7 Microwave 7: lower error 启动等离子体后0.5-2分钟内 与冷却水有关，可能会与上述错误同时发生 同上 加热器报错 Load chamber: infrared heater error contactor 启动等离子源后0.5-2分钟之内，且这三个报错一般同时出现 一般是由于冷却水流量报警时间超过微波电源的最长允许时间，微波电源启动安全联锁,启动加热器报警。 停止工艺，关闭软件，重新调整冷却水压，进水3±0.2bar，出水2±0.2bar，再启动软件 Process chamber: heater 2 error contactor System: N2 pressure to low 在连续向上料、下料和工艺腔中充氮气的时候 氮气压力过低，是进气口流量不够的表现 如果在向工艺腔中填充氮气，出现这种情况后，应按工艺腔真空泵的“standby”按钮，停止充气，待氮气压力表上示数升至5bar以上再继续 Jam. T 真空腔内有5个或超过5个石墨框的时候 石墨框太多，造成传输阻塞 进入手动模式取出所有石墨框 应急情况处理 紧急情况 可能原因 解决方案 送入的石墨框没有被位置探测器所感应到 上料时石墨框可能没有放平或者偏离导轨 停止工艺，然后进入system?manual transport，点击manual mode，使用手动传输模式 腔体之间的阀门打不开或关不上error gate x 石墨框卡在阀门中 停止工艺，停止加热，稍微冷却后打开对应腔的盖板，人工取出石墨框。 石墨框没有被定位探测器所感应到或者感应时间有误差，导致阀门不打开或者被石墨框抵住打不开 Process chamber: microwave 7 reflected power is to high （也可以是其它几个微波源） 石英管爆裂 按F8确认收到信息，如继续报警，应立即停止工艺，稍微冷却后打开盖板检查并维修 石英管内的铜管脱落 铜波导位置问题 短路活塞问题 Unload chamber: unloading pressure not reached 真空度不够，腔体密封圈有问题 打开腔盖检查并清洁密封圈 真空度不够，阀门密封圈有问题 service?machine rack?gate-4 op，检查并清洁阀门密封圈 Jam. T 某个腔的压力开关出错，无法发送“900mbar”或“1mbar”的信号，导致腔与腔之间的闸门阀无法打开 进入手动模式取出所有石墨框 Load chamber:Dry pump error contactor 冷却水原因 温度过高或其他人为原因导致过热保护，