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本节内容
• 反相器电路与版图 二输入与非门电路与版图
第一节 Part 1
01 反相器图层及其工艺介绍
01 图层 介绍
⚫ INV主要涉及到的图层(layer)
NWELL、OD、POLY、NIMP 、PIMP 、CO、Metal1 、
PMET 以及一些辅助层
01 NWELL
⚫ NWELL主要用于在P型硅衬底上刻蚀出N阱区域,N阱
最主要是用来制造PMOS。(NMOS直接制作在p衬底上)
N N N N N NW
sio2 sio2
NWELL
P substrate
01 OD
OD(有源区)主要用于制造N型器件和P型器件,也可以用于制
作衬底或阱的接触。从某种意义上说有源区掩膜板主要是通
过控制离子注入与氧化时间,实现在有源区上形成薄氧层和
有源区外形成厚氧层。
01 POLY
⚫ Poly(多晶硅)主要用于制作MOS管栅极(Gate) 以及
连线和电阻。
01 PIMP
⚫ PIMP主要用于制作PMOS管的源、漏以及NMOS
管的衬底欧姆接触。
01 NIMP
⚫ NIMP(一般是PIMP的反版)主要用于制作NMOS管
的源、漏以及PMOS管的衬底欧姆接触。
01 CO
⚫ 接触孔(contact)的主要作用是在有源区和Poly制造
金属接触,这层金属接触可以使硅和的金属实现
紧密连接。
01 METAL1
⚫ 金属层实现金属互连。
01 工艺回顾
sio2 sio2 P+ poly sio2
N+ P+ P+
NWELL
P substrate
01 工艺如何指导版图
下图中衬底电位PMOS管为何总是接VDD ,
nmos管总是接VSS ?
• INV 电路与版图 NAND2 电路与版图
01 工艺如何指导版图?
sio2 sio2 P+ poly sio2
N+ P+ P+
NWELL
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