第2章-力、压力传感器.pptVIP

* * 图2-86是压阻式压力传感器的结构示意图。压阻芯片采用周边固定的硅杯结构，封装在外壳内。在一块圆形的单晶硅膜片上，用半导体工艺中的扩散掺杂法做四个等值电阻，两片位于受压应力区，另两个位于受拉应力区，它们组成一个全桥测量电路。硅模片用一个圆形硅杯固定，两边有两个压力腔，一个和被测压力相连，为高压腔，另一个是低压腔，为参考压力，通常和大气相通。当存在压差时，膜片产生形变，使两对电阻阻值发生变化，电桥失去平衡，其输出电压反映膜片两边承受的压差的大小。 图2-86 压阻式压力传感器的结构示意图 * * 2.7.2 硅压阻式压力传感器的结构 * *  图2-87 常用硅压阻式压力传感器的结构 * * 本章小结 弹性敏感元件的作用：将力或压力转换为应变或位移。 电阻应变式传感器的工作原理—应变效应。 电阻应变式传感器的测量电路——电桥电路。 压电传感器的工作原理——压电效应。 压电材料的种类：石英晶体、压电陶瓷、高分子压电材料。 压电传感器的测量电路 ：电压放大器、电荷放大器。 电容传感器的工作原理：平行极板电容器的电容。 电容传感器的分类：变间隙、变面积、变介电常数。 提高电容传感器的输出灵敏度的方法：差动连接 电感传感器的工作原理：电磁感应。 电感传感器的分类：自感、互感 电涡流传感器的工作原理：电涡流效应。 压阻式压力传感器的工作原理：压阻效应。 返回本章目