第4章-传感器和微机电系统(上传文库).pptVIP

4.2 MEMS技术 微机电系统MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS)是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统。MEMS是集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 作为纳米科技的一个分支，MEMS被称为电子产品设计中的“明星”。目前，MEMS加工技术又被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。 MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 4.2 MEMS技术 4.2.1 MEMS的基本概念 MEMS由硅片采用光刻和各向异性刻蚀工艺制造而成，具有尺寸小、重量轻、成本低、可靠性高、抗振动冲击能力强以及易批量生产等优点。MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。 完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，集成于大尺寸系统中，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。 从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微型机电系统 MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子、机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等 4.2 MEMS技术 4.2.2MEMS技术的特点 MEMS系统器和器件的尺寸十分微小，通常在微米量级，微小的尺寸不仅使得MEMS能够工作在一些常规机电系统无法介入的微小空间场合，而且意味着系统具有微小的质量和消耗，微小的尺寸通常还为MEMS器件带来更高的灵敏度和更好的动态特性。80%以上的MEMS采用硅微工艺进行制作，使其具有大批量生产模式，制造成本因而得以大大降低。在单一芯片内实现机电集成也是MEMS独有的特点。单片集成系统能够避免杂合系统中有各种连接所带来的电路寄生效应，因此可达到更高的性能并更加可靠，单片集成有利于节约成本。组件装配特别困难，目前许多MEMS都是设计成不需要装配或者具有自装配功能的系统。MEMS构件的加工绝对误差小，使用的材料也较为单一，三维加工能力明显不足。 沿着系统及产品小型化、智能化、集成化的发展方向，可以预见：MEMS会给人类社会带来另一次技术革命，它将对21世纪的科学技术、生产方式和人类生产质量产生深远影响，是关系到国家科技发展、国防安全和经济繁荣的一项关键技术。 4.2 MEMS技术 4.2.3MEMS分类 （1）微传感器 机械类：力学、力矩、加速度、速度、角速度(陀螺)、位置、流量传感器。 磁学类：磁通计、磁场计。 热学类：温度计。 化学类：气体成分、湿度、PH值和离子浓度传感器。 生物学类：DNA芯片。 （2）微执行器：微马达、微齿轮、微泵、微阀门、微开关、微喷射器、微扬声器、 微谐振器等。 （3）微型构件：微膜、微梁、微探针、微齿轮、微弹簧、微腔、微沟道、微锥体、 微轴、微连杆等。 （4）微机械光学器件：微镜阵列、微光扫描器、微光阀、微斩光器、微干涉仪、微 光开关、微可变焦透镜、微外腔激光器、光编码器等。 （5）真空微电子器件：它是微电子技术、MEMS技术和真空电子学发展的产物，具有 极快的开关速度、非常好的抗辐照能力和极佳的温度特性。主要包括场发射显示器、场 发射照明器件、真空微电子毫米波器件、真空微电子传感器等。 （6）电力电子器件：包括利用MEMS技术制作的垂直导电型MOS(VMOS)器件、V型槽垂直导电型MOS(VVMOS)器件等各类高压大电流器件。 4.2 MEMS技术 4.2.4MEMS发展历史 MEMS第一轮商业化浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻走线，这种变化可以把压力转换