大口径光学元件检测平台综合误差数学建模与试验分析.pdfVIP

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2019-08-01 发布于安徽
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大口径光学元件检测平台综合误差数学建模与试验分析.pdf

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大几径光学元件检测平台综合误差数学建模及试验研究补偿提供了理论指导，能有效提高检测平台的测量精度，使检测结果能够更准确地指导补偿加工，具有较好的学术价值和应用意义。关键词：大口径光学元件：检测平台；几何误差；综合误差 Abstract La曙eaperturehigh the havebeen accuracyoptics，especialIyasphericoptics usedin nationaI as wideIy many importantengineering，suchaeronautics，teIescope andtheinenialconfinement ofthe fhsion(ICF)laserdriver，etc．Becausespecial enVironmentof for and optics，the optics working requirementopticalprecision sur纽ces js er． qualilybecomjnghigh 1nordertomeett|le oftechnical must optics requirement pammeters，theaspheric in向咖ationof be measuredinthe measurements repeated manu自cturingprocess，the and surfaces arefedbacktothe to s)，stem opticalprecision quality processing optics next ordertoensurethe thecorrectionand of step．In guide conlpensationprocessing correctne§softhemeaSurementinformationof measurement large-aperture．optics can the of of opticstheaccuracyIa唱eaperture platformaccuratelyguideprocessing elementdetection haVe put内rwardhigherrequirements opticaI platform The measurementofresearchwasresearched Ia曙e-apertureoptics