ch11气敏湿敏传感器及其应用.pptVIP

2) 霍尔器件的特性 从公式（8.42）中看出,霍尔电压与乘积灵敏度、控制电流Ic和磁感应强度B有关。因此,在磁场恒定的情况下,选用灵敏度较低的元件时,如果允许控制电流较大的话,也可能得到足够大的霍尔电压。比如InSn霍尔器件HT―2,它的灵敏度比N型Ge的元件HZ―1小许多,但控制电流能增加到300mA,可得到的霍尔电压UH反而可能比HZ―1大。 在控制电流恒定的情况下,UH与B的关系只能在一定范围内保持线性,一般只在B0.5T（相 当于5000Gs以下）时可认为是线性关系,尤其是HZ―4型元件线性较好。当磁场交变时,UH也是交变的,但频率只限几千赫兹以下。 元件的输入阻抗及输出阻抗并不是常数,随磁场增强而增大,这是半导体的磁阻效应。为了减少这种效应的影响,控制电流Ic最好用恒流源提供。 8.4.3 磁传感器应用举例 1.电流测量 图8.75为磁平衡方式的霍尔器件测量电流的原理图。被测电流I1产生的磁感应强度为B1时,根据B1的存在,霍尔器件输出霍尔电压。这个电压通过OP放大器向反馈线圈N2供给电流I2。在霍尔电压UH=0时,有 (8.49) 式中,N1、N2分别为被测电流线圈和反馈线圈的圈数。 ?通过电阻R测量I2时可得到与I1成比例的值。从（8.49）式中可看出I2与N1/N2成比例,因此,可大大改善霍尔器件的温度关系和磁场关系。 图8.76中的电路和图8.75类似。但它是用两个霍尔器件来改善温度关系和磁场关系的电路图。根据被测电流I1产生的磁感应强度B1,霍尔器件H1产生霍尔电压UH1。这个电压通过OP放大器向N2线圈提供I2电流。这时由I2产生的磁感应强度B2在霍尔器件H2中产生霍尔电压UH2。当适当选择I2的方向使UH1+UH2=0时,I2则在UＨ１=UH2时平衡。因此,I2由下式决定 因为UH1=UH2，所以 (8.50) 如果霍尔器件H1和H2的特性相同,则k1=k2。因此,I2由下式给出 (8.51) 由（8.51）式看出,I2只与N1/N2有关,因此,能够改善霍尔器件的温度和磁场特性。 图8.76 使用两个霍尔器件测电流的线路图 2．位移测量 位移测量原理图如图8.77所示。二只磁阻元件RM1、RM2组成电桥,并设磁铁处于两个磁阻元件之间时,RM1=RM2,因R1=R2,故电桥处于平衡状态,电桥无输出。当位移变化时,迫使磁铁移动,则两个磁阻元件受磁场强度不同的磁场作用,则RM1与RM2的阻值不相等,电桥失去平衡,此时电桥输出电压与位移有关。当位移方向相反时,电桥输出极性发生变化,因此,磁阻元件就可检测位移,同时可判断位移方向。 图8.77 位移测量原理 3．无刷直流电机 图8.78给出了无刷直流电机的基本结构图。从图可见,转子是由径向磁化的永久磁铁构成,设磁铁的N极指向L1时霍尔传感器H1的输出为:x1高,x2低,霍尔传感器H2的输出是平衡的;而当N极指向L2时,H1的输出平衡,H2的输出为:y1高,y2低等等。我们把霍尔传感器输出与转子位置的关系列成表8.4形式, 如利用霍尔传感器的输出来控制通过线圈L1到L4的电流,通过适当设计电路可以在N指向L1时,使L2中有磁化电流流过,产生把转子N极拉向L2的力,而在N指向L2时,使L3中有磁化电流流过,产生把转子N极拉向L3的力……这样就可使转子不停地转动。 4．涡轮流量计 利用磁敏二极管或三极管对磁铁周期性地接近或远离,可输出频率信号。若采用磁性齿轮,则磁敏二极管或三极管的输出波形近似正弦波,其频率与齿轮的转速成正比。图8.79是涡轮流量计。传感器安装在与涡轮相垂直的位置上,利用转速与流量成正比的关系,可以测量流量。这种传感器的低速特性很好,因此无论流量大小都能很好计量。 图8.79 涡轮流量计 图8.39 薄膜湿度传感器的结构 图8.40 Ta2O5薄膜湿度传感器的电容-湿度特性 制作薄膜湿度传感器的主要薄膜材料是Ta2O5和Al2O3。它们都具有很高的热稳定性和化学稳定性,因此用它们制成的湿度传感器能在很高的环境温度下工作。感湿膜很薄,响应时间很快（约1~3s）,特别适宜在高速湿度响应场合下使用。 薄膜湿度传感器的感湿特征量往