质量流量控制器与质量流量计使用说明书.doc

质量流量控制器和质量流量计 使 用 说 明 书 特点及应用领域 质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。 S49系列质量流量控制器和质量流量计特点： R*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚四氟乙烯等 R *适用于各种腐蚀性气体 *气体流量不因温度、压力的变化而失准 *高精度 *重复性好 *响应速度快、软启动、稳定可靠 *低压降 *工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。 *操作使用方便，可任意位置安装 *便于与计算机连接实现自动控制。 S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域： *半导体制造行业的气体流量控制 *分析仪器设备的气体计量与控制 *各种形式的真空镀膜设备 *环境检测与分析设备 *化工、石化、食品行业气体流量监测和控制 *特种材料表面处理装置与燃烧控制 *混气配气系统和泄漏探测系统等 2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号 本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。 其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器 S49-33A/MT型高精度质量流量计。 S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器 S49-33BM/MT型普通型质量流量计。 质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。 执行Q/XCHBY001-2003企业标准 3．主要技术指标 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。 质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分); 　　　　　　　　　　　　SLM (标准升/分) 标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ ); 气压 — 101325 Pa (760mm Hg) F.S (Full Scale): 表示满量程值 表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标 编号 项 目 S49-33/MT S49-33M/MT 1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM 2 调节阀类型 电磁调节阀 3 调节阀静止位置 常闭 4 准确度 ± 1 % F.S （5sccm~10slm） ± 2 % F.S 5 线性 ±(0.5~1.5) % F.S 6 重复精度 ±0.2 %F.S 7 响应时间 (1 ~ 10) sec 8 工作压差范围 (0.05 ~ 0.4) Mpa 10~30L(0.1~0.4) Mpa 9 耐压 3 Mpa ﹑ 10 Mpa 10 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃ 11 材料 不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton﹑EPDM, 或其他 13 漏率 ﹤2×10-9mbar.1/s He 14 接头 Ф6mm, 1/4″Swagelok, 1/4″VCR, 或其他 15 输入输出信号 0 V ~ +5.00 V (输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) 16 电源 +15 V 50 mA -15V 200 mA 17 外形尺寸 mm 134×134×38 18 重量 kg 1.2 表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标 编号 项 目 S49-33A/MT S49-33BM/MT 1 流量规格 ( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM 2 准确度 ±1 % F.S ±2 % F.S 3 线性 ±(0.5~1.5) % F.S 4 重复精度 ±0.2 %F.S 5 响应时间 1~4 sec 6 气压降 0.01 MPa 7 耐压 3 MPa﹑ 10 MPa 8 工作环境温度 5 ℃ ~ 45 ℃ 11 材料 不锈钢316L 12 标准密封材料 Viton﹑EPDM, 或其他 13 漏率 ﹤2×10-9mbar.1/s He 14 接头 Ф6mm, 1/4″Swagelok, 1/4″VCR, 或其他 电源 +15 V 5