第5周大课 电容式传感器(1).pptVIP

电容式传感器的工作原理及结构形式 电容式传感器的等效电路 电容式传感器的信号调节电路 电容式传感器的应用 电地暖 熟练掌握电容式传感器的分类类型 能够正确推导出变间隙型、变面积型和变介电常数型电容式传感器的灵敏度。了解这三种分类的非线性误差。 电容式传感器是将被测非电量的变化转化为电容变化量的一种传感器。 结构简单、性能可靠、成本低廉、分辨力高、可非接触测量，并能在高温、辐射和强烈震动等恶劣条件下工作 。 很有发展前途的传感器 。 当 x＜＜d 时 电容与x 近似线性关系，但量程缩小很多，变极距式电容传感器的灵敏度为 变间隙型电容传感器的灵敏度与极距的平方成反比，极距越小灵敏度越高。但极距过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）作介质。 若采用差动工作方式，电容传感器的灵敏度提高了一倍，非线性得到了很大的改善。 差动结构变间隙性电容式传感器，图中的上下两个极板是定极板，中间的极板是动极板，且两个电容极板的初始间距d1=d2=d0，当中间的动极板移动时，如极板向上移动，则电容C1的极板间距d1将减小，电容C1 的电容值将随极距的减小而增加；另一个电容C2 的值将减小，构成差分结构。 1.* 传感器技术与应用 回顾 电阻应变式传感器的信号调节电路 平衡电桥 回顾 电阻应变式传感器的信号调节电路 a）半桥差动电路 b）全桥差动电路 回顾 电阻应变式传感器的信号调节电路 恒流源电桥 回顾 电阻式应变式传感器 电阻应变式力传感器 圆柱式力传感器 梁式力传感器 圆环式力传感器 应变式加速度传感器 压阻式压力传感器 第3章 教学内容 本次课教学内容 电容式传感器的工作原理及结构形式 教学要求 电容式传感器 电容式传感器 电容式传感器不但广泛用于位移、振动、加速度、角度、力、压力、物料、介质特性等多方面量的精密测量，而且还逐步地扩大应用于压差、液面、料面、成分含量等方面的测量。 电容式传感器的工作原理及结构形式 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如果不考虑边缘效应，其电容量为 式中，A为极板面积；d为极板间的距离； 为极板间介质的相对介电常数； 为真空介电常数， =8.85 F/m； 为极板间介质的介电常数。 电容式传感器的工作原理及结构形式 图3-1 平板电容器 电容式传感器的工作原理及结构形式 保持其中两个参数不变，仅改变其中一个参数，就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。 电容式传感器工作方式可分为变极距式、变面积式和变介质式3种类型。 图3-2 几种不同的电容式传感器的原理结构图 电容式传感器的工作原理及结构形式 电容式传感器的工作原理及结构形式 图3-2所示为一些电容式传感器的原理结构形式。其中，图3-2a、b为变间隙型电容式传感器；图3-2c~f为变面积型电容式传感器；图3-2g、h为变介电常数型电容式传感器。 变间隙型电容式传感器 图3-3为变间隙型电容式传感器的原理图。图中，1为固定极板，2为与被测对象相连的活动极板。当活动极板因被测参数的改变而引起移动时，两极板间的距离d发生变化，从而改变了两极板之间的电容量C。 图3-3 变间隙型电容式传感器 变间隙型电容式传感器 图3-3 变间隙型电容式传感器 设极板面积为A，其静态电容量 ，当活动极板移动x后，其电容量为 1—固定极板 2—活动极板 (3-2) 设极板面积为A，其静态电容量 ，当活动极板移动x后，其电容量为 当x＜＜d时 (3-3) 变间隙型电容式传感器 变间隙型电容式传感器 变间隙型电容式传感器 变间隙型电容式传感器 变间隙型电容式传感器 课后作业 推导差动结构变间隙型电容传感器 ΔC 和灵敏度K 变面积型电容式传感器 图3-4为直线位移变面积型电容式传感器的示意图。 图3-4 直线位移变面积型电容式传感器 变面积型电容式传感器 当动极板移动Δx后，覆盖面积就发生变化，电容量也随之改变，其值为 （3-4） 电容因位移而产生的变化量为 其灵敏度为 可见增加b或减小d均可提高传感器的灵敏度。 变面积型电容式传感器 变面积型电容式传感器 变面积型电容式传感器派生型 （a）角位移型 （b） 齿形极板型 变面积型电容式传感器 中间极板移动的差动结构变面积型电容式传感器，