薄膜的性质课件.PPTVIP

薄膜的性质 薄膜的性质 进入20世纪以来．薄膜技术无论在学术上还是在实际应用中都取得了丰硕的成果。其中特别应该指出的是下述三个方面。 第一是以防反射膜、干涉滤波器等为代表的光学薄膜的研究开发及其应用。这种薄膜在学术上有重要意义，同时，具有十分广泛的实用性，对此人们寄予了很大的希望。 第二是在集成电路（IC、LSI）等电子工业中的应用。一个显著成果是外延薄膜生长。特别是随着电路的小型化，薄膜实际的体积接近于零这一特点就显得更加重要了。 薄膜的性质 第三是对材料科学的贡献。薄膜技术本身属于非平衡过程，与通常的材料的热平衡制备法相比，薄膜材料的非平衡特征非常明显。虽然这种非平衡过程也有缺点，但可以制备普通相图中不存在的物质。这些都是很突出的优点。 在研究物性时，发现物体的大小会对物性产生影响。这种效应称为尺寸效应。在粉末、微粒子等状态中也发现有这种效应。 薄膜的性质 ★ 熔点降低 ★ 干涉效应 ★ 表面散射 ★ 平面磁化各向异性 ★ 表面能级 ★ 量子尺寸效应 对于薄膜来说．在厚度这一特定方向上，尺寸很小，而且在厚度方向上由于表面、界面的存在，使物质的连续性发生中断，由此对薄膜性质产生各种各样的影响。 薄膜的性质——熔点降低 ★ 熔点降低 在此考虑