IC互连碳纳米管关键技术分析——高密度催化剂与定向碳纳米管的制备与表征.pdfVIP

interconnectionresearch· the CNT-IC willbeusefulfor this following optimized，and Nanotubes，Catalyst Circuit，Interconnection，Carbon words：Integrated Key 第‘章绪论 第一章绪论 碳纳米管(Carbon 弧放电形成的阴极沉积物中发现，是一种具有显著电子特性和机械特性的独特纳米结构。 自发现以来，对其性质和用途的研究日益增多。由于CNT具有高导电性、高表面积比、 高稳定性等特点，于电化学领域的应用非常广泛，比如可用作电化学传感器、超级电容 器、锂离子电池等电化学器件的电极材料，并以其