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第三章. 晶体太阳电池制造工艺 光伏产业链 一.硅材料制备工艺流程(西门子法) 硅太阳电池制造过程 硅片制备 1.由硅砂到冶金硅 将石英砂放在大型电弧炉中,用焦碳进行还原。 SiO2+2C Si+2CO 硅定期从炉中倒出,并用氧气或氧-氯 混合气体吹之以进一步提纯。然后倒入浅槽,逐渐凝固,便成冶金硅 (含硅97%-99%) 2.由冶金硅到三氯氢硅 将冶金硅破碎成粉末,与盐酸在液化床上进行反应,得到三氯氢硅(TCS)。 Si+3HCl SiHCl3+H2 3.由三氯氢硅到多晶硅 对三氯氢硅进行分馏,以达到超纯状态。 对超纯三氯氢硅用H2通过化学气相沉积(CVD)方法还原成多晶硅。 SiHCl3+H2 Si+3HCl 4. 多晶硅锭的制造 由西门子法得到的多晶硅棒,因未掺杂等原因,不能直接用来制造太阳电池。 将熔化的硅经过定向凝固后,即可获得掺杂均匀,晶粒较大,成纤维状的多晶硅铸锭。 由硅砂到太阳电池组件 5.单晶硅棒的制造 (1) 切克劳斯基(CZ)法 在单晶炉中将硅熔化,并将籽晶引向融熔的硅液,然后一边旋转,一边提拉,融熔的硅就在同一方向定