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一、洁净隧道
(1)在隧道内造成不同的洁净度,从而充分利用了不同洁净气流的特性,最大限度地满足工艺要求。一般情况下,隧道内的两侧是高洁净度的层流工作区,中间是乱流的操作活动区。工艺区连成一条线,使用方便,人员的活动也不会引起交叉污染。
(2)由于在隧道内减少了层流面积,基建费用和运行费用要比全室净化的垂直层流洁净室节约三分之一以上。乱流活动操作区的净高较层流工艺区高得多,能满足人员舒适感的要求。
(3)技术夹道既可作为回风道,又可布置各种工业管道,安装工艺辅助设备。组成洁净隧道的局部净化设备(洁净工作台、洁净棚和层流罩等)、工业管道以及工艺辅助设备的维修均可在技术夹道内进行。由于技术夹道相对于洁净隧道为负压,因此,维修工作不会引起洁净隧道的污染,维修工作可在不停止工艺生产的情况下进行。
洁净隧道所需的局部净化设备、顶棚、壁板、回风口及门窗等构件,可以标准化、模数化,由专业工厂加工生产,在现场组装。同时,洁净隧道可以迅速拆装,重新组合,为工艺变化提供了方便。
(4)洁净隧道可以按一定规模配置净化空调系统,因此空调系统可通用化、系列化,从而可以大大缩短设计周期。
(5)一般情况下,洁净隧道对于建筑方面的要求比较简单,只要具备乱流洁净室的环境,即可满足要求。
二、洁净管道把需要超高洁净度级别(如1级或10级)的工艺生产线,放在与室内空气环境隔绝的管道中的净化处理方式,叫洁净管道。这种方式要求工艺生产必须是自动化的,高效过滤器必须是以0.1μm尘粒为标准的才能实现超高洁净度。此外,这种方式由于被净化的是管道中的空气,送、回风量很小,可以大幅度地节约能量,是 洁净技术的发展方向,也被称为第四代净化方式。
以上介绍的净化处理方案需要根据具体情况确定。
目前技术上发展已经比较成熟的是全室净化、局部净化(包括全室净化和局部净化相结合)以及洁净隧道三种净化处理方式,工程设计中应结合具体情况选择其中一种或两种净化方式作为设计方案。
在满足工艺要求的条件下,应尽量选用局部净化方式。局部净化采用局部净化设备,在一般空调环境中实现。由于局部净化设备一般均由专业工厂生产,设备质量高,又可加快现场施工速度,在改建工程中可以优先考虑这种方案。
当只用局部净化方式不能满足工艺要求时,可采用局部净化与全室净化相结合的净化方式作为设计方案。
当上述净化方式均不能满足工艺要求时,才选用全室净化的净化方式作为设计方案。由于这种方式要造成全室具有相同的洁净度,特别是洁净度级别高时,初投资和运行费用都很高,因此,洁净室的面积应严格加以控制。
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