高功率TEACO2激光器的光学谐振腔.docVIP

高 功 率TEACO2 激光器的光学谐振腔 高 功 率 TEA CO2 激光器的光学谐振腔 徐东东1，2 ，耿玉民1 ，郭 劲1 ( 1． 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所，激光与物质相互作用国家重点实验室，长春 130033; 2． 中国科学院 研究生院，北京 100049) 摘要: 根据 TEA CO2 激光器工作的实际情况，以高功率激光器的光束发散角、模体积、模式 结构和输出功率为依据，设计了几组不同曲率半径的全反射镜和不同透射率的输出反射镜， 并对激光工作物质的不同总气压和分气压进行实验研究． 结果表明，经优化设计各项参数， TEA CO2 激光器可达到数千瓦的高功率激光输出，并将激光光束发散角控制在最小范围． 关键词: TEA CO2 激光器; 光束发散角; 光学谐振腔 中图分类号: 文献标志码: 文章编号: 1671-5489( 2011) 02-0309-06 TN248． 2 A Optical Resonator of High-Power TEA CO2 Laser XU Dong-dong1，2 ，GENG Yu-min1 ，GUO Jin1 ( 1． Changchun Institute of Optics，Fine Mechanics and Physics，State Key Laboratory of Laser Interaction with Matter， Chinese Academy of Sciences，Changchun 130033，China; 2． Graduate University，Chinese Academy of Sciences，Beijing 100049，China) Abstract: In the light of the physical circumstances of working of a TEA CO2 laser，taking beam divergence angle，mode volume，mode configuration and output power as design parameters，the authors designed several groups of holophotes with different radii of curvature，output mirrors with different transmissivity and different general air pressure and partial air pressure of working-laser material． The results indicate that the TEA CO2 laser could not only obtain a laser output up to several kilowatts，but also control beam divergence angle to be a minimum via optimizing parameters． Key words: TEA CO2 laser; beam divergence angle; optical resonator 光学谐振腔是产生激光的两个必要条件之一，即产生激光需要具有能实现激光能级间粒子反转的 工作物质［1］和能形成激光的光学谐振腔． 随着高功率 TEA CO2 激光器在工业、军事和科研等领域的广泛应用，激光器的输出功率、激光光 束发散角和激光光束模式结构等问题在光学谐振腔设计过程中均需考虑． 采用非稳腔［2］、折叠腔［3］和 设置光阑［4］的方法可有效压缩光束发散角，提高激光光束质量，但光电子损耗较大，激光器的输出功 率损失约为 30% ． 为改善激光光束质量［5］且输出功率不产生较大的损耗，本文采用改变“平-凹”腔全反射镜曲率半 径的方法压缩发散角． 由于谐振腔的输出反射镜调节精度受实验室条件限制，因此当发散角较小时， 输出功率不能达到最大值． 为找到全反射镜的最佳曲率半径，在一定的注入能量条件下，本文设计了 收稿日期: 2010-05-05． 作者简介: 徐 东 东 ( 1986—) ，男，汉 族，硕 士 研 究 生，从事激光技术的研究，E-mail: xdd198537 @ 126． com． 通 讯 作 者: 耿 玉 民 几组不同曲率半径的全反射镜． 由于输出窗口的透射率、激光气体总气压以及气体配比对输出功率的影响较大，因此结合激光器的工作环境和具体要求，通过分析实验数据，在一定的气体总气压、气体配比和输出窗口透射率条件下给出了