第91章透射电子显微镜.pptVIP

第八章 透射电子显微镜 第一节透射电子显微镜的结构与成像原理.uk/tem/ 透射电镜的结构与原理 透射电子显微镜（Transmission Electron Microscopy 简称TEM） 是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。 透射电镜的结构：由电子光学系统、电源与控制系统及真空系统三部分组成。 电子光学系统： （镜筒），是透射电镜的核心。 它由照明系统、成像系统和观察记录系统分为三部分。 透射电镜的光路原理：与透射光学显微镜十分相似。 透射电镜光路原理与光镜比较 日本电子公司透射电镜 JEM-2100 日本电子公司透射电镜 JEM-2100（HR） 我校新安装的TEM JEM-2010透射电镜镜筒剖面图 原荷兰PHILIPS公司透射电镜 FEI公司TECNAI系列透射电镜 高電圧電子顕微鏡 JEM-ARM1300 原子分辨分析型透射电镜 JEM-ARM200F 技术参数： 1、分辨率：STEM?0.08 nm?，TEM0.19 nm (Cs =0.11nm ） 2、放大倍数：STEM ：100～1500万，TEM：50～200万 3、加速电压：200 kV 4、球差校正器： STEM Cs corrector Standard TEM Cs corrector Optional 5、其他附件： EDS/EELS /CCD camera, etc. 主要特点： 原子分辨率?S/TEM：? 标配照明系统球差校正器，STEM分辨率 0.08 nm, 为世界最高的商业化透射电镜，同时使其具有无与伦比的分析功能。 极强的抗干扰能力和超高稳定性：JEM-ARM200F采用多种新技术和设计确保实现原子级的分辨率和分析能力。 可以选配成像系统的球差校正器：点分辨率可以提高到?0.11 nm. 操作极为简单：克服了球差校正透射电镜难于操作的难题。 西安交通大学：2009年12月购置 中科院大连化物所： 2010年12月购置 中国科技大学：2010年9月购置 神华集团低碳清洁能源研究所：2011年6月购置。 冷场发射球差校正透射电镜JEM-ARM200F （CFEG Cs corrected TEM） 上市时间：2010年7月创新点:目前为止场发射透射电镜使用的都是热场发射技术，冷场发射虽然能量发散度小，相干性好，但稳定性很差，很难实际使用。日本电子株式会社最新设计开发的冷场发射电子枪亮度高，稳定性强，解决了这个长期困扰的技术难题。使得透射电镜的在原子级分辨本领和原子级的分析能力有了质的提高。 中国科学院物理研究所 2011-7-31 2010年7月，日本电子最新推出冷场发射双球差校正原子分辨和分析型透射电镜。 传统冷场发射技术稳定性差，亮度低，无法保证使用需求。 日本电子最新开发冷场发射技术解决了这些问题，并把该技术加入到最新球差校正透射电镜ARM200F序列里。 在保证分辨率0.078nm同时，能量分辨率提高到0.3eV，极大增强了原子级观察和分析能力。 美国第一台冷场发射电子枪的JEM-ARM200F安装在Florida State University’s Applied Superconductivity Center, housed in the National High Magnetic Field Laboratory。 其后美国的Brookheaven国家实验室； 欧洲各国，日本东京大学、东北大学、名古屋大学、九州大学等；中国台湾清华大学也开始纷纷采购这一设备。 西安交通大学：新近购入JEM-ARM200F，是中国首台该型号的电镜，也是中国大陆第一台STEM球差校正透射电镜。 透射电镜的球差校正器有两种： 一种是在成像系统上，即物镜球差校正器，也称TEM球差校正器， 另一种是在照明系统 上，即聚光镜球差校正器，也称STEM球差校正器。 使用STEM球差校正器除可大幅度提高STEM图像分辨率外，还可大大提高样品微区分析能力。 STEM球差校正透射电镜是透射电镜的发展方向。 JEM-ARM200F上HAADF分辨率可达到0.08nm，是目前世界上分辨率最高的商业化透射电镜。 STEM球差校正器日本已有二十多台，韩国有5台，台湾有两台，获得了大量成果。 现在中国大陆也有了这样世界顶尖级仪器，令人非常振奋。 一、照明系统 照明系统： 由电子枪、聚光镜和电子束平移对中、倾斜调节装置组成。 照明系统作用： 提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 为满足明场和暗场成像需要，电子束可在2o～3o范围内倾斜。 1. 电子枪 ① 普通钨灯丝热阴极三极电子枪（