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第一章 表面科学与表面分析技术 可以观察到薄膜界面化学成分之间的相互扩散. 2 场发射电子源 + + + + 阳极1—调节电流 聚焦透镜组 样品 阳极2—加速电子 W发射体（310）面 场发射不是增加e能量,而是降低材料功函数。方法是在针状材料表面施加数千伏高电场E,改变材料的势垒,发射电流密度: 式中 ——诺德汉姆椭圆函数 ?—— 离子枪主要用于试样表面清洁、刻蚀和做SIMS的激发源。类型包括 (三) 离子源 气体放电型 等离子体源 液态金属离子源 + 1 气体放电型——氩离子枪结构原理图 e- 栅极—吸引电子 吸引极 聚焦极 Ar Ar+ 样品 G 通入Ar气 工作原理： 加热W丝热发射e； e经栅极G的正电场 加速，与Ar气碰撞产生Ar+； Ar+由吸引极引出，经由透镜聚焦到样品表面。 工作原理与上类似，但增加了能压缩等离子体的磁场中间极，使源 的密度高，亮度大。 2 等离子体源 原理：金属针与液态金属浸润但不反应,液态金属经毛细管作用到针尖，加电压使针尖液态金发生畴变,当静电引力?表面张力时形成泰勒锥体，发射正金属离子，引出极将离子引入，聚焦照射样品。 优点：亮度高，束斑尺寸小，适于作微区分析。 3 液态金属离子源 *