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电池片工艺流程 一、电池片工艺流程: 制绒(INTEX)---扩散(DIFF)----后清洗(刻边/去PSG)-----镀减反射膜(PECVD)------丝网、烧结(PRINTER)-----测试、分选(TESTER+SORTER)------包装(PACKING) 二、各工序工艺介绍: (一)前清洗 1.RENA前清洗工序的目的: (1) 去除硅片表面的机械损伤层(来自硅棒切割的物理损伤) (2) 清除表面油污(利用HF)和金属杂质(利用HCl) (3)形成起伏不平的绒面，利用陷光原理，增加对太阳光的吸收，在某种程度上增加了PN结面积，提高短路电流(Isc)，最终提高电池光电转换效率。 2、前清洗工艺步骤: 制绒?碱洗 ?酸洗?吹干 Etch bath:刻蚀槽，用于制绒。 所用溶液为HF+HNO3 ，作用: (1).去除硅片表面的机械损伤层; (2).形成无规则绒面。 Alkaline Rinse:碱洗槽 。 所用溶液为KOH，作用: (1). 对形成的多孔硅表面进行清洗; (2).中和前道刻蚀后残留在硅片表面的酸液。 Acidic Rinse:酸洗槽 。 所用溶液为HCl+HF，作用: (1).中和前道碱洗后