多畴PZT铁电薄膜畴变的实验和理论分析.pdfVIP

摘 要 Pb(Zr Ti )O (PZT)铁电薄膜材料具有大的饱和极化强度、高压电系数和热释电效 1-x x 3 应等优良的性能，目前它在现代工业生产中仍然是一种不可替代的功能材料。铁电畴 的结构及其运动规律直接决定了铁电体的物理性质。具有压电响应模式(PFM) 的扫描 力显微镜(SFM) 中是观测铁电畴结构及其畴变演化的主要实验研究手段。非线性热力 学理论是研究铁电相变及介/压电响应的重要理论基础。从目前的研究现状来看，理论 上多为简单单畴模型，实验上观测到的多为复杂的多畴结构，而这样不能很好地解释 和验证铁电薄膜材料在畴变相变中遇到的实际问题。本文首先使用PFM 观察铁电薄膜 材料电畴结构和畴变过程，根据非线性热力学理论建立多畴模型，采用实验和理论相 结合的手段，研究了PZT 铁电薄膜的畴结构和畴变过程。最后，分析讨论了外加力场、 / 失配应变以及组分对薄膜介压电性能的影响。本论文的主要内容如下： (1) 对生长在立方基底的PZT52/48薄膜进行了微结构和铁电性能表征。通过外加力 PZT PFM 场下 铁电薄膜畴变的实验观测，利