第一章 精密和超精密加工技术概述 管文编著.ppt

;1.1 精密和超精密加工技术的发展与现状 1.2 精密和超精密加工技术的作用 1.3 精密和超精密加工技术发展趋势 ;1.1 精密和超精密加工技术的发展与现状;国内真正系统地提出超精密加工技术的概念是从 20 世纪 80 年代~90 年代初，由于航空、航天等军工行业的发展对零部件的加工精度和表面质量都提出了更高的要求，这些军工行业投入了资金支持行业内的研究所和高校开始进行超精密加工技术基础研究。由于当时超精密加工技术属于军用技术，无论从设备还是工艺等方面，国外都实施了技术封锁，所以国内超精密加工技术的开展基本都是从超精密加工设备的研究开始。由于组成超精密加工设备的基础是超精密元部件，包括空气静压主轴及导轨、液体静压主轴及导轨等，所以各单位也正是以超精密基础元部件及超精密切削加工用的天然金刚石刀具等为突破口，并很快就取得了一些进展。;超精密加工技术的发展随着时代的进步其加工精度也不断提高，目前已经进入到纳米制造阶段。纳米级制造技术是目前超精密加工技术的巅峰，其研究需要具有雄厚的技术基础和物质基础条件，美国、日本及欧洲一些国家以及我国都在进行一些研究项目，包括聚焦电子束曝光、原子力显微镜纳米加工技术等，这些加工工艺可以实现分子或原子级的移动，从而可以在硅、砷化镓等电子材料以及石英、陶瓷、金属、非金属材料上加工出纳米级的线条和图形，最终形成所需的纳米级结构，为微电子和微机电系统的发展提供技术支持。;图1-1 国内第一台大型（φ1000mm）光学元 件金刚石超精密切削加工设备（LODTM）;一、精密和超精密加工技术可促进现代基础科学和应用基础科学的发展;美国航空航天局（NASA）为了验证爱因斯坦广义相对论的上述2 项预言从 1963 年开始计划，但直到2004 年才发射了一个利用高精度陀螺仪的测量装置——引力探测器，用于检测地球重力对周围时空影响。其中陀螺仪的核心部件——石英转子（φ38.1mm ）的真球度达到了7.6nm ，若将该转子放大到地球的尺寸，要求地球表面波峰波谷误差仅为2.4m ，如此高的加工精度可以说将超精密加工技术发挥到了极限，最终陀螺精度达到了0.001 角秒/年。 ; 20世纪80年代以前，太赫兹（THz）波段（介于微波与红外之间）的研究结果和数据非常少，主要是受到有效太赫兹产生源和灵敏探测器的限制。随着80年代一系列新技术、新材料、新工艺的发展，使得太赫兹技术得以迅速发展。近年来由于太赫兹的独特性能将给宽带通信、雷达、电子对抗、电磁武器、天文学、医学成像、无损检测、安全检查等领域带来了深远的影响，太赫兹基础及应用基础技术已经逐渐成为研究热点。 ;二、精密和超精密加工技术是现代高新技术产业发展的基础 国家目前非常重视交通、能源、信息、生物医药等高新技术产业的发展，但是目前这些产业的核心技术国内还没有掌握，关键设备或零部件仍然依赖进口。如高性能轴承是飞机发动机、高铁、风电等产品的关键，但由于目前国内材料、工艺等方面的原因，其使用寿命远远不能满足要求，其他一些承受高频载荷的部件同样面临这些问题。近年国内开始研究的抗疲劳制造技术则是以被加工件的抗疲劳强度及疲劳寿命为判据，其中的核心技术之一是精密超精密加工工艺，可提高表面质量、改善表面应力状态，从而提高零件的疲劳寿命，这不仅要求具有超精密加工设备及工艺，而且还需研制材料及零部件的疲劳寿命精密测试设备。（见图1-2）;图1-2 滚动接触疲劳寿命测试设备; ;三、精密和超精密加工技术是现代高技术战争的重要技术支撑 超精密加工技术对国防武器装备的发展具有重大影响，掌握超精密加工技术并具备相应的生产能力是国防工业涉入现代国防科技和武器装备尖端技术领域的必要手段，20世纪90年代初，美国就将其列为 21项美国国防关键技术之一。 ; 超精密加工技术的发展对飞机、导弹等惯性器件的发展做出了突出贡献。美国1962年就研制成功了激光陀螺，但因未突破硬脆材料的陀螺腔体和反射镜的超精密加工技术，使激光陀螺在飞机上的应用整整延迟了20年，超精密车削、磨削、研磨以及离子束抛光等工艺的相继突破才使激光陀螺投入了批量生产，并将陀螺性能指标提高了2个数量级。半球谐振陀螺仪中半球谐振子采用超精密振动切削工艺达到了精度和性能指标。激光加工和离子刻蚀等超精密加工技术是制造硅微型惯性传感器的重要工艺，这将对飞机和导弹惯性系统的小型化起重要作用。采用超精密铣削工艺及超精密研抛工艺提高了惯性传感器中挠性件的精度和尺寸稳定性。此外，飞控系统中的液压零件采用超精密磨削及研磨抛光、超精密清洗工艺，对提高飞机的可靠性、可维修性和寿命起到了至关重要的作用。;发动机喷嘴零件（如旋流槽、微小孔等特征）的精密加工与检测技术、发动机叶片型面及进排气边的精密加工与检测技术、整体叶盘的精