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激光划痕法膜基界面的温度场及应力场分析.PDF
32 5 Vo.l 32, No. 5
2008 10 LASER TECHNOLOGY October, 2008
: 1001- 3806 (2008) 05- 0527- 04
冯爱新, 程 昌, 殷苏民, 周建忠, 唐翠屏
, 212013)
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: O484 : A
Study on temperature and stress field of film-substrate system
irradiated by laser scratching 部
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