1真空系统组成a.ppt

* * 真空镀膜 在真空条件下利用某种方法在固体表面镀上一层与基体材料不同的薄层材料，使基体材料具有许多新的物理和化学性能，这就是真空镀膜技术。 其特点是 在真空条件下膜不易受污染，可获得纯度高、致密性好、厚度均匀的膜层； 膜材和基体材料有广泛选择性，可制备各种不同功能的膜层； 膜层牢固、附着强度好；对环境无污染。 * * 幕墙玻璃 相机镜头 哈勃太空望远镜 * * * * * 用于对样品表面或断口形貌进行观察和分析 扫描电子显微镜： 用细聚焦电子束轰击样品表面，电子与样品相互作用产生二次电子、背散射电子等。 * X射线光电子能谱仪 * 扫描电子显微镜 真空系统组成 《真空技术基础》之一 * 前言 “真空技术”作为独立的学科体系，诞生于19世纪末20世纪初。20世纪中期，随着电子器件、原子能、航天技术对真空条件的需求，推动了真空技术的长足进步。 * 现在，在我们身边利用真空技术的日用品到处可见。例如真空保温杯，保温饭盒，暖水瓶；在食品方面就更多了，如真空罐装液体，真空挤奶，真空干燥食品，真空包装，真空炸制食品等，举不胜举。 真空包装机 * 压差力的利用如电除尘器，高楼擦玻璃的机器人，板材的运输等（如Al板、Cu板、玻璃板的运输）。 玻璃板的运输 家用吸尘器 * 电子管和电视显像管（电子束管），利用绝热效果的不锈钢制的罐、杯、碗，真空包装食品，真空下使之干燥的食品等为代表的物品。 电子管 真空保温杯，保温饭盒 * 太阳能电池 相机镜头 另一方面，直接利用真空的制品也有很多，真空蒸发和真空涂层技术制作的透镜、玻璃、反射镜、太阳能电池、LED照明、液晶显示、IC器件等。 LED照明 * 概述：真空系统组成 1.1 真空、真空系统的概念 1.2 真空应用概述 1.3 真空系统的组成和分类 1.4 真空系统设计的基本内容 1.5 真空抽气设备简介 * 真空：一般是指在给定的空间内，压力低于101325Pa的气体状态。 真空绝不是没有任何物质的空间，现代抽真空技术所获得的真空空间中仍然存在着稀薄气体。 真空度量：真空状态下气体的稀薄程度通常用气体的压力值来度量。 1.1 真空、真空系统的概念 * 图1 地表以上的真空度 * 马德堡半球实验 Magdeburg-spheres Experiment 用两个直径119厘米的半球合起来，用水银真空泵将球内空气抽至粗真空，每个半球用8匹马才能向相反方向拉开。 * 由于真空技术的飞速发展，用炭素灯丝发明了白炽灯泡（1875年），为了使灯丝的寿命长，使灯泡内含O2少而采用真空抽气的办法。 霓虹灯制作设备 白炽灯泡 * 首先，从获得的压力来看，从低真空到极高真空来分类如表所示。 低真空 105～102Pa 中真空 102～10-1Pa 高真空 10-1～10-5Pa 超高真空 10-5～10-8Pa 极高真空 10-8 Pa以下 * 年 作者 科学技术 1643年 托里拆利 760mmHg上的真空 1650年 帕斯卡 大气压力随高度而变化， 活塞式真空泵 1654年 波义耳定律 理想气体的压力与体积的关系 1738年 Bernoulli 气体分子运动论 1775年 Lavoisier 大气的空气是N2和O2的混合物 1802年 盖吕萨克定律 气体体积温度定律 1810年 Medhurst 第一条真空邮递线 1811年 阿佛加德罗 气体恒定的分子密度 1843年 Samuda 第一条真空铁路（都柏林） 1850年 Toepler 汞柱真空泵 1859年 Maxwell 气体分子速度分布定律 * 年 作者 科学技术 1865年 Sprengel 汞滴下真空泵 1874年 Mcleod 压缩式真空计 1879年 Edison 碳丝白炽灯 1879年 Crookes 阴极射线管 1878年 W.Gaede 在德国诞生 1881年 Van der Waals 真实气体状态方程 1893年 Dewar 真空绝缘瓶 1902年 Fleming 真空二极管 1905年 Gaede 旋转汞真空泵，Leybold使泵企业化 1906年 Pirani 热传导真空计 * 年 作者 科学技术 1907年 Forest 真空三极管 1909年 Coolidge 钨丝白炽灯，钨的粉末冶金 1909年 Gaede 发明旋片旋转泵（Gaede型泵） 1909年 Knudsen 气体分子流 1911年 Gaede 分子真空泵发明 1915年 Coolidge X射线管 1915年 Gaede 汞扩散泵发明S＝0.1～0.2L/s 1916年 L