摘要-昆山科技大学机构典藏.docVIP

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2019-09-11 发布于天津
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摘要-昆山科技大学机构典藏.doc

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山科技大合作案告溅成氮化薄膜之光能分析合作商翔科技有限公司行期中民年月日至年行位山科技大工程系主持人林天行人良林政中民九十九年十月目摘要前言氮化的性反性中磁控原理磁控原理中流程膜成果考文附一附二附三摘要本研究利用中反性磁控技成氮化薄膜藉由改氮度固定底溅功率固定溅固定固定基板高度溅沉於玻璃上再利用光分析分析探不同氮度氮化薄膜透光性果示在同的程中著氮度增加其透光性越好一前言沉氮化薄膜的方法有化相沉法分子束磊晶成中磁控直流或交流磁控法在些沉薄膜方法中化相沉法是成族化合物最普遍的方法其沉速率快但因沉氮化

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