材料分析化学第6讲扫描电镜分析原理.ppt

清华大学化学系 材料与表面实验室 * 样品制备 离子溅射也是常用的表面镀膜方法， 其溅射原理见图9。 与真空蒸发相比，当金属薄膜的厚度相同时，利用离子溅射法形成的金属膜具有粒子形状小，岛状结构小的特点。 清华大学化学系 材料与表面实验室 * 样品制备 对于其它导电性好的样品如金属，合金以及半导体材料，薄膜样品基本不需要进行样品处理，就可以直接观察。只要注意几何尺寸上的要求。但要求样品表面清洁，如果被污染容易产生荷电现象。 对于需要进行元素组成分析的样品，一般在表面蒸发轻元素作为导电层如：金属铝和碳薄膜层。对于粉体样品可以直接固定在导电胶带上。 清华大学化学系 材料与表面实验室 * 电子通道效应 通道效应可以研究晶体的取向，点陈参数和晶体缺陷。 电子通道花样是一种相当弱的衍衬效应。可以采用电子衍射动力学理论解释。 在入射束做面扫描时，将在不同扫描点上引起与不同（hkl）面相对应的强度极大值和强度极小值。结果在屏上形成一系列规则带组成的图像。 清华大学化学系 材料与表面实验室 * 电子通道花样的形成 清华大学化学系 材料与表面实验室 * 获得电子通道花样的方式 清华大学化学系 材料与表面实验室 * 电子通道图的应用 电子通道花样的分析比较复杂，尤其是在定量分析上。 主要用于晶体结构参数的分析 The END 2002.11.15 清华大学化学系 材料与表面实验室 * 背反射电子象