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项目二 表面粗糙度的测量 项目二·1 粗糙度显微镜的测量原理及测量方法 二、仪器介绍 1、概述 光源发出的光通过聚光镜照到狭缝上，经过狭缝的光变成一束光带，又通过物镜以倾斜45°的方向照到被测表面上，具有齿状的不平表面被光亮的具有平直边缘的狭缝象的亮带照射后，表面波峰在S点产生反射，波谷在S′点产生反射，通过观测显微镜的物镜，它们各成象在分划板的a和a′点在目镜中视察到的即为具有与被测表面一样的齿状亮带，（这就是物理光学的小孔成象原理）。 通过目镜的分划板与测微鼓轮，测出a点至a′点之间的距离N，被测表面的粗糙度就可以测出来。 3、仪器主要结构　 4、仪器使用 (1)物镜的选择 (2)显微镜调焦和被测工件的安放 接通电源，擦净被测工件置于工作台上，使加工痕迹与光带垂直，也与工作台纵向移动方向垂直。 (3)取样长度l和评定长度ln的选择 根据表2.1.2选择合适的取样长度。 (4)测量方法 　首先将目镜中之十字线的水平线调整到平行于光带任一边的轮廓峰或轮廓谷的任一位置相切点上，在鼓轮上读出第一个数值，然后再转动鼓轮移动至轮廓谷或轮廓峰的相切点上，读出第二个数值，两次读数值之差即为测量高度值。（如图2.1.3所示） 移动工作台的纵向千分尺在评定长度ln范围内测出，它包含的一个或数个取样长度l，也必须满足五个峰谷值，然后将所测量出的数值取平均值，做数据处理代入Rz公式即可得出粗糙度数值， 三、实验步骤 1、用粗糙度样板与被测件相比较，选取合适的物镜，将工件放于工作台V型块上。 4、按实验报告给出的公式计算Rz值。 四、实验报告 1、使用仪器名称: 3、测量记录及计算 * 　　一、实验目的 　　１、了解用粗糙度显微镜测量表面粗糙度的原理和方法 ２、加深对参数Rz的理解。 　 表面粗糙度显微镜是以光切法（光截法或光割法）原理来测量工件的表面粗糙度，其评定参数按照粗糙度标准，为“微观不平度十点高度”Rz，测量范围80～0.8μm，测量对象除金属表面外，还可对木材塑料等材料表面进行测量（千分尺鼓轮刻度值0.0lmm)。工作原理示意图如图2.1.1。 图2.1.1 光切法显微镜测量原理 在目镜的分划板中看到的表面粗糙不平的影象亮带，是因为投影管射出来的光束，还有一定的厚度，所以这条亮带是较粗的，（此亮带有两个边界）而在测量时只根据其中比较清晰的一边进行测量。 由于投影角及目镜千分尺结构和物镜放大倍数的关系，在目镜千分尺鼓轮上读出的峰谷高度值也不等于放大它的实际高度，而需要通过计算，在不同的放大倍数下乘一个相应的修正系数E值见表2.1.1。 表2.1.1 修正系数E 0.016 0.029 0.063 0.128 修正系数（E） 1.6～0.8 6.3～0.8 20～3.2 80～10 相应粗糙 度级数（新） ? 9 ? 7― ? 9 ? 5― ? 7 ? 3― ? 5 相应光洁度 级数（旧） 60x 30x 14x 7x 物镜倍数 （粗糙度单位均为μm，修正系数单位均为mm） 1.紧固螺丝 2.横臂 3.微调手轮 4.升降螺母 5.立柱 6.底座 7.工作台 8.可换物镜 9.燕尾导板 10. 11.封闭的壳体 12.固紧螺丝 13.测微目镜 图2.1.2 光切法显微镜外形图 如图2.1.2，在底座(6)上装有立柱(5)显微镜的主体通过横臂(2)预紧，转动升降螺母（4）可使横臂连同显微镜的主体沿立柱上下移动，以进行粗调焦，并用紧固螺丝（1）将横臂固定在立柱上。 显微镜的光学系统装在一个封闭的壳体(11)内，其上装有可换物镜(8)，用手柄借弹簧力紧固，壳体上装有测微目镜(13),微调手轮(3)用的微调焦。 在仪器上测量表面粗糙度时，应将被测工件揩拭干净后放置在工作台（7）的V型铁上，并使被测表面的加工纹理方向调到与狭缝相互垂直。 在燕尾导板(9)处装上适当倍物镜。然后接通电源，进行粗精调焦，当在目镜的视场中看到最清晰的齿状亮带时，才算调焦完毕。 首先用类比法，将被测工件与粗糙度样板相比较，然后根据类比结果，选择相应放大倍数的物镜。 根据表一查找物镜后，将该物镜装在燕尾导轨(9)上。 放松支臂紧固螺丝1，使支臂慢慢下降（注意）！显微镜支臂下降时切勿使物镜碰击工作台或工件表面，直到用眼可以看到视场里出现一条绿色光带后锁紧螺丝。