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PERC太阳电池及产业化 PERC电池技术背景 PERC(passivated-emitter and rearcell)电池早在1989年就被Blakers[1]等人提出，在此结构基础上，新南威尔士大学赵建华博士[2]经过一些列改进优化，于1999年获得了转换效率达24.7%的太阳能电池，因此创造了晶硅电池最高效率世界纪录。 PERC电池结构如图1所示[3]，其电池的特点是：（1）电池的正反两面都沉积钝化膜；（2）背场的铝浆则直接覆盖在背面钝化膜上与硅基体形成局部接触。根据PERC电池的结构特点，电池需要双面钝化和背面局部接触，从而大幅降低表面复合，提高电池转化效率。双面钝化则要求电池两面都需镀介质膜，背面局部接触则需要背面开膜，因此PERC电池工艺流程为：（1）碱制绒（2）POCl3扩散（3）湿法背面刻蚀（4）双面钝化薄膜（5）背面介质薄膜开孔（6）金属化。 PERC电池产业化技术关键 PERC电池在上世纪八十年代末和九十年代初就已经成为晶体硅太阳电池的代表，以24.7%的世界纪录领跑晶硅电池效率记录。但产业化的进程直到本世纪2010年才有质的进展，间隔整整20年。2010年产业化PERC电池的显著进展取决于以下三个方面：工艺，设备以及相关材料。 工艺方面的关键在于背面钝化以及背面局部接触技术的实现。背面钝化技术，涉及到钝化膜的选择。新南威尔士大学赵建华博士在1999发表的文章