Q_FTHC001-2018氧化铝耐磨陶瓷静电吸盘企业标准.pdf

ICS J 50 备案号: Q/FTHC 杭州大和江东新材料科技有限公司企业标 准 Q/FTHC001—20 18 氧化铝耐磨陶瓷静电吸盘 2018-09-20 发布 2018-09-29 实施 杭州大和江东新材料科技有限公司 发布 Q/FTHC 001—20 18 前 言 本标准所有内容应符合强制性国家标准、行业标准及地方标准，若与其相抵触时，以国家标准、行 业标准、地方标准为准。 本产品如需办理专项行政许可，本企业应在取得专项行政许可证后，从事许可事项规定的活动，并 按备案标准组织生产。 本产品不需办理专项行政许可的，本企业按备案标准组织生产。 本企业对本标准的合法性、真实性、准确性、技术合理性和实施后果负责。 本标准按照GB/T 1.1-2009 给出的规则起草。 本标准由杭州大和江东新材料科技有限公司提出。 本标准起草单位：杭州大和江东新材料科技有限公司。 本标准主要起草人：占克文、马玉琦、姚相民。 本标准首次发布确认时间：2018年09 I Q/FTHC 001—20 18 氧化铝耐磨陶瓷静电吸盘 1、 范围 本标准规定了氧化铝耐磨陶瓷静电吸盘的要求、试验方法、检测规则。 本标准适用于杭州大和江东新材料科技有限公司生产氧化铝耐磨陶瓷静电吸盘的基本 品质、性能及检测方法、产品检验规则等。 2 、 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其 随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标 准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新 版本适用于本标准。 ASTM F 1593 高质量分辨率辉光放电质谱仪测量电子级金属铝中痕量金属杂质的标准测试 方法 ASTM C 1161 常温下先进陶瓷抗弯强度的标准测试方法 ASTM D 150 固态电绝缘材料交流损耗特性和介电常数的标准测试方法 ASTM D 149 固态电绝缘材料在商用电频率下介电击穿电压和介电强度的标准测试方法 ASTM C 20 沸水测量烧结耐火砖及类似物显孔隙率，吸水率，表观比重和体积密度的标 准测试方法 ASTM C 1327 先进陶瓷维氏压痕硬度的标准测试方法 3、 术语和定义（或分类与型号等） 3.1、氧化铝耐磨陶瓷静电吸盘 上下层为氧化铝陶瓷圆盘，中间层为钨电极层的组合件。其中，氧化铝陶瓷的氧化铝 （Al O ）含量≥99.8%，并且维氏硬度大于15 Gpa 。 2 3 Q/FTHC 001—20 18 4 、 要求 4.1 、原料要求 氧化铝 （Al O ）原粉纯度≥99.8%，钨 （W ）材料纯度≥99.9% 。 2 3 4.2 、技术指标 4.2.1 成分 氧化铝（Al O ）纯度：≥99.8%； 2 3 钠元素（Na+ ）含量：≤500 ppm； 钨（W ）材料纯度：≥99.9% 。 4.2.2 尺寸规格 氧化铝盘直径≤800 mm； 氧化铝盘厚度≤2 mm ； 钨材料层厚度≤2 mm 。 4.2.3 力学性能 氧化铝材料抗弯强度（三点弯曲）≥300 Mpa 氧化铝材料维氏硬度≥15 Gpa 。 4.2.4