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SU8200场发射扫描电镜技术说明文件 一、二次电子分辨率： 0.8 nm (加速电压 15 kV，工作距离4 1.1 nm (着陆电压 1 kV，工作距离1.5 mm)( 以上分辨率的测试都是基于日立电镜的分辨率测试标样（蒸金磁带样品，蒸金碳样品） 二、放大倍率： 低倍模式： ?20 到 ?2k 高倍模式： ?100 到 ?1000k 三、电子光学： 电子枪： 冷场发射电子枪（带有柔性flash功能） 加速电压: 0.5 到 30 kV 着陆电压: 0.01到 2 kV 透镜系统 三级电磁透镜系统 物镜光阑 四孔可调光阑(内置加热自清洁功能) 扫描线圈 二级电磁式偏转线圈（高倍模式） 一级电磁式偏转线圈（低倍模式） 消像散器 八级电磁系统（X，Y） 探测器： 低位（Lower）、高位（Upper）、和顶位（Top）三种探测器进行二次电子/背散射电子的接收 能谱系统 (选配) 束闸 电磁型 电位移： ?12 ?m (工作距离 注意：工作距离改变时，电位移范围会改变 四、样品室和样品台： 样品台控制： 五轴马达台 可移动范围和样品尺寸： SU8220 SU8230 SU8240 X 0 ~ 5 0 ~ 11 0 ~ 11 Y 0 ~ 5 0 ~ 11 0 ~ 8 Z 1.5 ~ 3 1.5 ~ 4 1.5 ~ 40 mm T -5 ~ 70° R 0 ~ 360° 样品尺寸 最大样品尺寸（直径） 150 mm 可安装样品高度 SU8220 SU8230/SU8240 样品最大直径 样品最大高度 样品最大直径 样品最大高度 26 mm 17 26 mm 24 mm 75 mm 8 mm 75 mm 15 mm 100 mm 6 mm 125 mm 12 mm 150 mm 2 mm 150 mm 8 mm 换样 预抽室 样品台控制： 图形界面控制 自动样品更换位置定位功能 样品台移动轨迹存储功能 优中心旋转功能 图片导航功能 五、显示系统 用户界面 电脑显示器上的图形用户界面 电脑 操作系统：微软Windows 7 专业版（32位） 操作台：鼠标、键盘、旋钮板、样品台控制方法（标配轨迹球，或选配操纵杆） 显示器 24.1寸液晶显示器或同等配置的显示器（屏幕：1,920×1,200像素） 扫描模式： 二维图像显示 选区模式 点分析模式 平均浓度分析模式 图像显示模式 大屏显示模式 (1280 ? 960) 单屏显示模式 (800 ? 600) 双屏同时显示模式 (800 ? 600) 四屏同时显示模式 (640 ? 480) 选区显示模式（图像调整时使用） 电子光学对中： 电子束对中 光阑对中 像散对中 低倍对中 扫描模式 积分扫描 快扫 慢扫 缩小区域扫 高清捕图 积分捕图 荷电抑制扫描(CS扫描) 扫描速度 TV：两级扫描速度（Rapid1～Rapid2） 快扫：两级扫描速度（Fast1～Fast2） 慢扫：七级扫描速度（Slow1～Slow7） CS扫描：七级扫描速度（CSS1～CSS7） 选区扫描 自动调节功能： ABCC (自动亮度/对比度调节)，自动聚焦 信号和图像处理功能： 通过积分，图像的信噪比提高 桢积分（最大积分数量：1,024）（TV和快扫模式） 彩色图像显示 两种颜色混合图像显示（实时） 伪彩图像显示（保存图像） 存储图像处理 ? 渐变转换 ? Gamma 调节 ? 多重滤波处理 图像存储： 图像存储尺寸：640 ? 480，800 ? 600，1,280 ? 960，2,560 ? 1,920，5,120 ? 3,840像素 保存格式：BMP,TIFF(8位),JPEG 图像打印 自由布局打印功能 保存数据图像的处理 图像管理和处理(SEM Data Manager) ： ? 图片数据库管理 ? 缩略图显示 ? 多种图片处理功能 其他功能： 束闸功能（图像冻结时） 光栅旋转/倾斜补偿 测量功能 (实时图像或存储图像) 参数显示 (照片号、加速电压、放大倍率、微标尺、工作距离、日期、时间) 参数条被底：透明、黑色 数据输入和标注（圆，矩形，箭头，尺寸线） 外部设备接口： USB 接口 网卡接口 X射线分析功能扫描模式： 点扫描 面扫描 DBC接口（选配） 六、真空系统 真空控制： 完全自动气动阀系统 真空泵： 离子泵： 60 L/s ? 1, 20 L/s ? 2磁悬浮分子泵： 300 L/min ? 1（主抽气）机械泵 为减轻污染，推荐使用干泵 真空量规： 全量程量规，皮拉宁规两个（控制真空系统），潘宁规一个 真空度： 电子枪： ﹤10-8 Pa