等离子体化学与工艺.docVIP

第三章等离子体的发生 获取plasma的方法和途径很多。涉及经典的微观过程，物理效应和实验方法。 3.1 等离子体的主要发生方法 P107图3.1 3.1.1气体放电法 常用的电场类型：（按电场的频率不同：直流放电，低频，高频，微观放电等） a：直流：简单易行 b：低频： c：高频：，属于无线电波频谱范围，故称射频放电RF放电，常电为 d：微波：超过 (放电)，它能导致电子回旋共振，增加放电频率，有利于提高工艺质量。 主要放电形式P109图3.2， P111表3-1 电场和气压对等离子体的性质的影响P111图3.3 a：注意:在低压，强电场条件下，电流密度小时容易产生辉光放电，电流密度增大到一定值后过度到弧光放电。 b：若一个大气压或更高的气压下，可不经过辉光放电直接从电晕放电过度到弧光放电。 等离子体温度与气压的关系：P112图3.4 3.1.2射线辐照法P112 3.1.3光电离法 当入射光子的能量大于某种原子或分子的电离能时，即≥，便能发生光电离： 很多元素第一电离势约为6~10ev,即需用远紫色到软X射线范围。采用真空紫外光。 3.1.4激光等离子体（激光诱导） 只要光子的能量之和大于或等于电离能，电离过程便能发生。 注意：由于单光子能量小于原子，分子的电离能，如红宝石激光器的波长是，单光子能量只，因此单光子电离是不可能的。 P114 表3-2给出光子数s值。 3.1