飞秒激光加工技术.pptx

飞秒激光加工技术;1、什么是飞秒激光 2、如何产生飞秒激光 3、飞秒激光加工机理 4、飞秒加工的应用;1、激光 组成物质的原子中，有不同数量的粒子（电子）分布在不同的能级上，在高能级上的粒子受到某种光子的激发，会从高能级跳到（跃迁）到低能级上，这时将会辐射出与激发它的光相同性质的光，这就叫做“受激辐射的光放大”，简称激光。;;2、飞秒 飞秒是一个时间单位。一飞秒就是10的负15次方秒。也就是1/1000万亿秒。 我们知道宇宙年龄有多大？ 答案： 140多亿年。 一小时相对宇宙年龄有多短？ 答案：8×10-15 也就是说如果把宇宙的年龄比作一秒，那么一小时大约相当于8飞秒。;3、飞秒激光 飞秒激光是一种以脉冲形式运转的激光，持续时间非常短，只有几个飞秒。 我们知道光一秒钟可穿越30万千米，但它在100飞秒的时间内，只能通过人的头发直径那么短的距离。所以飞秒激光的脉冲也非常短，目前已经达到了4fs以内（可见光-近红外波段）。 ;;4、飞秒激光特点 1)、飞秒激光有非常高的瞬间功率，它的瞬间功率可达百万亿瓦，比目前全世界的发电总功率还要多出上百倍; 2)、物质在飞秒激光的作用下会产生非常奇特的现象，气态的物质、液态的物质、固态的物质瞬间都会变成等离子体; ;3)、飞秒激光具有精确的靶向聚焦定位特点，能够聚焦到比头发的直径还要小的多的超细微空间区域; ;1、普通激光的产生 1960年，由Maiman实现第一台激光器：红宝石激光器。 ;2、飞秒激光脉冲产生原理 （1）飞秒脉冲激光技术 普通激光器产生的是连续的激光，要压缩成脉冲的形式飞秒激光器在此基础上还需要锁模元件、色散补偿元件 1）调Q技术 调节谐振腔的品质因数Q，使受激辐射迅速地形成和增强，从而输出强大的激光脉冲。 2）锁模技术 锁模就是将需要的那种组合模式选出来让它振荡，即增益相同时，让它的损耗最小。 ;;;;;（3）飞秒激光器 飞秒激光器目前主要存在四大类别：其一是由有机染料为介质的飞秒染料激光器。 不同染料可以输出不同波长的飞秒激光脉冲，它覆盖了从紫外到近红外波段，但最有效的还是集中??红光波段。随着固体、半导体、光纤飞秒激光器的崛起，飞秒染料激光器在红外和紫外波段已经失去了竞争能力，但在可见波段，特别是在红光区域仍被广泛的应用在时间分辨光谱，半导体载流子快速弛豫过程和化学反应动力学过程的研究中。其二是以掺钛蓝宝石，Li：SAF，掺镁橄榄石等固体材料为介质的飞秒固体激光器。 由于这种固体材料具有比染料更宽的调谐范围，更大的饱和增益通量和更长的激光上能级寿命，使其在飞秒激光运转的许多特性都优于染料激光器，加之固体材料具有更稳定的光学性质和更紧凑的结构，使得飞秒固体激光器在很短的时间里发展成为飞秒激光技术的主体。;其三是以多量子阱材料为代表的飞秒半导体激光器。 超短脉冲半导体激光器的研究在很长时间里始终没有跨越皮秒级，直到将多量子阱材料引入到短脉冲半导体激光器中，才使超短脉冲半导体激光器成为飞秒激光家庭中的重要成员。飞秒半导体激光器主要应用于高比特多路通信，超长距孤子光纤通信等领域。 其四是以掺杂稀土元素的SiO2为增益介质的飞秒光纤激光器。其主要特点是结构紧凑，小巧，高效率，低损耗，负色散和全光学，其波长适用于光通信，特别适用于孤子传输的研究。 ;1、加工机理 飞秒激光脉冲和材料作用过程中,材料中的电子通过对入射激光的多光子非线性吸收方式获得受激能量,获得的能量仅在几个纳米厚度的吸收层上迅速聚积,作用区域内的温度瞬间急剧上升,并远远超过材料的熔化和汽化温度值,使物质发生高度电离,最终处于前所未有的高温、高压和高密度的等离子体状态; 由于受辐射持续时间只有飞秒量级(10-15s),远小于材料中受激电子通过转移、转化等形式的能量释放时间,因而从根本上避免了热扩散的存在和影响; ;同时飞秒量级脉冲有着非常高的瞬时功率,产生的光电场强度比原子内部库仑场高数倍,材料内部原有的束缚力已不足以遏止高密度离子、电子的迅速膨胀,最终使作用区域内的材料以等离子体向外喷发的形式得到去除,实现了激光对材料的非热熔性加工. ;2、加工特点 1）可加工材料广泛 当脉冲持续时间足够短、峰值足够高时,飞秒激光可以实现对任何材料的精细加工、修复和处理,而与材料的种类和特性无关。 2）非热熔性 最重要的特征。激光在极短的时间和极小的空间内与物质相互作用，作用区域内的温度在瞬间内急剧上升，并以等离子体向外喷发的形式得到去除。严格避免了热熔化的存在，大大减弱和消除了传统加工中热效应带来的诸多负面影响。 ;3）加工过程的准确性 每一个激光脉冲与物质相互作用的持续期内避免了热扩散的存在,在根本上消除了类似于长脉冲加工过程中的熔融区、热影响区、冲击波等多种