Centrotherm扩散炉测试机械手臂在各位置是否正确的作业流程.docxVIP

流程图 操作过程 注意事项 所需工具 /防护用品\ 打开Jobs 界面 进入系统 至下页 1.生产要求着装，戴好乳胶手套和口罩 2.查看各管所处的状态。待机状态的管子可以调试 等待工艺 正在工 正在工 1.乳胶手套戴两层 防护眼镜、 乳胶手套 1.运行工艺时指示灯 为绿色。 3.点击用户输入密码 设备人员和操作员工 的权限密码要分开不 要通用。 所需工吋 时间 人员 lmin 1人 2m in 1人 lmin 1人 备注 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时I可 1 m i n 人员 1人 进入 Handling 菜单 4.点击“Handling”这时系统处在“Manual”状态。 Silder上料 5.点击“Manual ”再点击S订der,点击To lift,使空 舟和小车一起进入上料区，准备调试。如下图。 小车运行时，注意安 全，上料区不要随意 站人。 2min 2 人 在运行的过程中，查 看抓舟的位置是否冇 偏差。必要时调整。lmi n 在运行的过程中，查 看抓舟的位置是否冇 偏差。必要时调整。 lmi n 6.点击Lift点击open clamp选择TO silder” 然后点击“close clamp”接着点击“upword。抓起 空舟放到要调整测试的位置。 流程图 操作过程 注意事项 所需工具 至下页 7.点击storage” 选择 “storagcl”