电感式传感器(第五周).ppt

第9章 电感式传感器; 电感式传感器是基于电磁感应原理，它是把被测量转化为电感量的一种装置。常用来测量位移、压力、流量、振动、应变、密度等物理参数。;优点： ①结构简单、可靠，测量力小 ②分辨力高 机械位移0.1μm，甚至更小；角位移0.1角秒。 输出信号强，电压灵敏度可达数百mV/mm 。 ③重复性好，线性度优良 在几十μm到数百mm的位移范围内，输出特性的线性度较好，且比较稳定。 ④能实现远距离传输、记录、显示和控制。 不足：存在交流零位信号，不宜高频动态测量。 ;一、电感式传感器工作原理;N：线圈匝数；Rm：磁路总磁阻(铁芯与衔铁磁阻和空气隙磁阻) 气隙式自感传感器，因为气隙较小(lδ为0.1～1mm)，所以，认为气隙磁场是均匀的，若忽略磁路铁损，则磁路总磁阻为 l1：铁芯磁路总长；l2：衔铁的磁路长；S：隙磁通截面积； S1：铁芯横截面积；S2：衔铁横截面积；μ1：铁芯磁导率； μ2：衔铁磁导率；μ0：真空磁导率，μ0=4π×10-7H／m； lδ：空气隙总长。;由于自感传感器的铁芯一般在非饱和状态下，其磁导率远大于空气的磁导率，因此铁芯磁阻远较气隙磁阻小，所以上式可简化为 ;δ，A;变气隙式自感传感器;变面积式自感传感器;螺管式自感传感器;差动式自感传感器; 差动气隙式电感传感器由两个相同的电感线圈Ⅰ、Ⅱ和磁路组成, 测量时, 衔铁通过导杆与被测位移量相连, 当被测体上下移动时, 导杆带动衔铁也以相同的位移上下移动, 使两个磁回路中磁阻发生大小相等, 方向相反的变化, 导致一个线圈的电感量增加, 另一个线圈的电感量减小, 形成差动形式。;图为变气隙型、变面积型及螺管型三种类型的差动式自感传感器的结构示意图。当衔铁3移动时，一个线圈的电感量增加，另一个线圈的电感量减少，形成差动形式。;差动式与单线圈电感式传感器相比，具有下列优点： ① 线性好； ② 灵敏度提高一倍，即衔铁位移相同时，输出信号大一倍； ③ 温度变化、电源波动、外界干扰等对传感器精度的影响，由于能互相抵消而减小； ④ 电磁吸力对测力变化的影响也由于能相互抵消而减小。 ; 自感式传感器的等效电路;1 互感式传感器的结构与工作原理 分气隙型和螺管型两种。目前多采用螺管型差动变压器。;(e)、(f) 变面积式差动变压器 ;工作原理类似于变压器。主要包括有衔铁、初级绕组、次级绕组和线圈框架等。初、次级绕组的耦合能随衔铁的移动而变化，即绕组间的互感随被测位移的改变而变化。;螺管型差动变压器根据初、次级排列不同有二节式、三节式、四节式和五节式等形式。;差动变压器的等效电路;　　当衔铁移向次级绕组LS1一边，互感M1增大，M2减小，因而次级绕组LS1内的感应电动势大于次级绕组LS2内的感应电动势，这时差动变压器输出电动势不为零。在传感器的量程内，衔铁位移越大，差动输出电动势就越大。 　　当衔铁移向次级绕组LS2一边，差动输出电动势仍不为零，但由于移动方向改变，所以输出电动势反相。 　　因此通过差动变压器输出电动势的大小和相位可以知道衔铁位移量的大小和方向。 ;(1)激励电压幅值与频率的影响 　　激励电源电压幅值的波动，会使线圈激励磁场的磁通发生变化，直接影响输出电势。而频率的波动，只要适当地选择频率，其影响不大。;(2)温度变化的影响 　　周围环境温度的变化，引起线圈及导磁体磁导率的变化，从而使线圈磁场发生变化产生温度漂移。当线圈品质因数较低时，影响更为严重，因此，采用恒流源激励比恒压源激励有利。适当提高线圈品质因数并采用差动电桥可以减少温度的影响。 ;(3)零点残余电压 当差动变压器的衔铁处于中间位置时，理想条件下其输出电压为零。但实际上，当使用桥式电路时，在零点仍有一个微小的电压值(从零点几mV到数十mV)存在，称为零点残余电压。如图是扩大了的零点残余电压的输出特性。零点残余电压的存在造成零点附近的不灵敏区；零点残余电压输入放大器内会使放大器末级趋向饱和，影响电路正常工作等。 ;(1)从设计和工艺上保证结构对称性 为保证线圈和磁路的对称性，首先，要求提高加工精度，线圈选配成对，采用磁路可调节结构。其次，应选高磁导率、低矫顽力、低剩磁感应的导磁材料。并应经过热处理，消除残余应力，以提高磁性能的均匀性和稳定性。由高次谐波产生的因素可知，磁路工作点应选在磁化曲线的线性段。 ;采用相敏检波电路不仅可鉴别衔铁移动方向，而且把衔铁在中间位置时，因高次谐波引起的零点残余电压消除掉。如图，采用相敏检波后衔铁反行程时的特性曲线由1变到2，从而消除了零点残余电压。;(3)采用补偿线路;(b);R2;二