cmos工艺下微压力传感器研究综述.docxVIP

向延进19920112203486测控 CMOS压力传感器 1、研究背景和意义 压力传感器的发展背景 传感器的作用就是将自然界中存在的各种非电量信息转化成可测的电信号， 为人们探知和控制提供必要的条件和依据⑴。随着现代测量、控制和自动化的技 术不断发展，传感器技术越来越为人们所重视，已成为制造自动化和信息化的基 础⑵。传感器技术同计算机科学技术与通信技术被称为信息技术的三大产业⑶， 其发展是一个代表国家工业现代化水平的重要标志。 传感器与生活中的各行各业也有着紧密的联系。在普通一个汽车的电控系统 中大约有10-20只传感器，有的高级汽车更是高达300个，这些传感器盲接影响 着汽车技术性能的发挥。在现代医学领域，医学传感器得到了广泛的应用，如在 图像处理、临床化学检验、生命体征参数的监护检测、心血管疾病的诊断和治疗 等方面，传感器己经十分普及。在环境检测，军事等方面也有着很多的应用⑷。 可以说我们的生活已经离不开传感器了。 传感器的种类很多，以传感器的功能来说可以分为速度传感器、温度传 感器、压力传感器等。其中压力传感器具有体积小、灵敏度高、成本低、便于集 成等优点，被广泛应用于医疗卫生、工业过程监控、生物、航空、环境监测等各 个领域⑴⑸⑹，。可以说是工业实践中最为常用的一种传感器。 压力传感器的材料也可以分成很多种类，但是根据相关文献资料大部分都是 用硅来制作的。自1954年Smi