光栅刻划机进给导轨直线度误差对光栅衍射波前及杂散光的影响.pdf

第35卷 第5期 光 学 学 报 Vol.35,No.5 2015年5月 ACTAOPTICASINICA May,2015 光栅刻划机进给导轨直线度误差对光栅衍射波前及 杂散光的影响 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2 黄元申 黄运柏 杨海马 李柏承 苏仰庆 盛 斌 1教育部光学仪器与系统工程研究中心,上海 200093 2上海市现代光学系统重点实验室,上海 200093 摘要 对光栅刻划机的进给导轨直线度误差做了系统的研究，推导了直线度误差对光栅衍射波面和杂散光的影响 的计算公式，并且定义了干涉仪测量轴线到刻线始端这段距离为定位臂。得出以下结论：定位臂会放大进给导轨 的直线度误差；光栅的衍射波前和杂散光强度主要受定位臂和导轨直线度大小的影响，若定位臂为50mm，则水平 方向直线度误差必须小于 0.15″ ，若定位臂为10mm，则水平方向直线度误差必须小于 0.74″ ；与竖直方向的直线度 相比，刻划机对进给导轨水平方向的直线度要求更高。理论推算与实验结果相符。 关键词 光栅;直线度误差;定位臂;衍射波前;杂散光强度 中图分类号 O436 文献标识码 A doi: 10.3788/AOS201535.0506005 InfluenceofFeedingGuide′sStraightnessErrorsofGratingRuling MachineonDiffractionWave-FrontofGratingand IntensityofStrayLight HuangYuanshen HuangYunbai YangHaima LiBaicheng SuYangqing ShengBin 1EngineeringResearchCenterofOpticalInstrumentandSystem,MinistryofEducation,Shanghai 200093,China 2 ShanghaiKeyLaboratoryofModernOpticalSystem,Shanghai 200093,China Abstract Acomprehensiveanalysishasbeenmadeforstraightnesserrorsoffeedingguideofgratingruling machine, and some mathematical expressions have been deduced among the straightness errors, the diffraction wave-front and the intensity of stray light, and the distance from the measurement axis of interferometertothebeginningoflineshasbeendefinedaspositionarm.Somefollowingconclusionshave beenmade.Positionarmcanmagnifythestraightnesserrorsofdividingguide.Thediffractionwave-frontand theintensityofstraightlightaremainlya