二极管工艺简介.pptVIP

一. 士兰现有的二极管品种  1.开关管 2.稳压管 3.肖特基管 4.光敏管 2.稳压管剖面结构 3.肖特基管剖面结构 4.光敏管剖面结构 器件工艺简介 器件产品的工艺和电路产品的工艺没有大的区别，但在具体的某一产品上会有一些特殊的要求，例如：稳压管在注入和退火方面有很高的精度要求；开关管要求最终的产品有很薄的芯片厚度；光敏管的外延要求近乎本征的低掺杂浓度；部分高压三级管要求上百微米的外延厚度。这些工艺的加工设备和电路工艺都是完全相同的，只是具体的工艺参数要求相对电路工艺特别一点； 器件产品的金属化工艺 为适应器件产品尤其是二极管在封装，接触电阻等方面的特殊要求,器件的金属化工艺种类较多也较复杂采用的金属淀积设备主要以蒸发为主； 蒸发工艺的优点： 1.方便淀积多层金属,能适应不同产品对不同金属结构的要求； 2.蒸发较厚（2um以上）的金属层； 主要金属化工艺: Ti-Ni-Ag