动态特性可调的微动平台优化设计-压电与声光.PDFVIP

下载本文档

4
0
约2.14万字
约 4页
2019-09-13 发布于天津
举报
版权申诉

动态特性可调的微动平台优化设计-压电与声光.PDF

1、本文档共4页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第卷第期压电与声光４１１Ｖｏｌ．４１Ｎｏ．１　　　　年月２０１９２ＰＩＥＺＯＥＬＥＣＴＲＩＣＳ＆ＡＣＯＵＳＴＯＯＰＴＩＣＳＦｅｂ．２０１９文章编号：（）１００４２４７４２０１９０１０１１５０４　　动态特性可调的微动平台优化设计查雄飞，杨志军，胡颖怡（广东省微纳加工技术与装备重点实验室，广东广州５１０００６）摘要：针对目前柔性铰链主要靠局部变形来工作，其存在应力集中，且微动平台的动态特性受材料特性、设　　　计制造等误差影响，难以满足变工况条件下的高精密位移输出。基于应力刚化原理，采用对称布置的带倒角的弹片式柔性铰链，设计张紧力调节机构，实现微动平台的动态特性可调。采用和ＣＯＭＳＯＬＭｕｌｔｉｈｓｉｃｓＭＡＴＬＡＢｐｙ联合仿真对张紧力调节机构进行参数优化，让调节机构保持线性调节关系，使柔性铰链的应力分布最小化。结果表明，所设计的微动平台能够进行高度线性固有频率调节，与有限元分析结果相比，频率调节范围相差２．５５％，在理论设计范围内。关键词：柔性铰链；微动平台；应力刚化；线性调节；有限元分析中图分类号：文献标识码：：／ＴＮ３８４Ａ犇犗犐１０．１１９７７．ｉｓｓｎ．１００４２４７４．２０１９．０１．０２７　　　　　　ｊ犗狋犻犿犻狕犪狋犻狅狀犇犲狊犻狀狅犳犕犻犮狉狅犕狅狋犻狅狀犛狋犪犲犠犻狋犺犃犱狌狊狋犪犫犾犲犇狀犪犿犻犮犆犺犪狉犪犮狋犲狉犻狊狋犻犮狊狆犵犵犼狔，，犣犎犃犡犻狅狀犳犲犻犢犃犖犌犣犺犻狌狀犎犝犢犻狀犻犵犼犵狔（，，）ＧｕａｎｄｏｎＰｒｏｖｉｎｃｉａｌＫｅＬａｂｏｒａｔｏｒｏｆＭｉｃｒｏＮａｎｏＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎＴｅｃｈｎｏｌｏａｎｄＥｕｉｍｅｎｔＧｕａｎｚｈｏｕ５１０００６Ｃｈｉｎａｇｇｙｙｇｇｙｑｐｇ：，，犃犫狊狋狉犪犮狋Ｓｉｎｃｅｔｈｅｆｌｅｘｕｒｅｈｉｎｅｍａｉｎｌｗｏｒｋｓｂｔｈｅｌｏｃａｌｄｅｆｏｒｍａｔｉｏｎａｎｄｔｈｅｓｔｒｅｓｓｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｅｘｉｓｔｓａｎｄｇｙｙ，