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电涡流传感器 电涡流传感器的工作原理 1 电涡流传感器的转换电路 3 电涡流传感器的应用 电涡流传感器的类型 4 2 电涡流传感器原理图 线圈通入正弦交变电流I1，则线圈周围空间将产生一个正弦交变磁场H1，使金属导体中感应电涡流I2，I2又产生一个与H1方向相反的交变磁场H2，如图。根据楞次定律，H2的反作用必然削弱线圈的磁场H1。由于磁场H2的作用，涡流要消耗一部分能量，导致传感器线圈的等效阻抗发生变化。线圈阻抗的变化完全取决于被测金属导体的电涡流效应。 电涡流传感器的工作原理 线圈置于金属导体附近： 原理的直观表示 线圈中通以高频信号 I1 正弦交变磁场 H1 金属导体内就会产生涡流I2 涡流产生交变磁场H2 反作用于线圈，改变了阻抗、电感 电涡流传感器的等效电路 把被测导体上形成的电涡流等效成一个短路环中的电流，短路环可以认为是一匝短路线圈，其电阻为R1、电感为L1。这样线圈与被测导体便可等效为两个相互耦合的线圈。线圈与导体间存在一个互感M，它随线圈与导体间距x的减小而增大。 电涡流传感器等效电路 M R L1 L R1 I I1 U1 线圈的等效电阻和电感为： 结论： 凡是能引起 R1、L1、M变化的物理量均可以引起传感器线圈R、L的变化。 被测体（金属）的电阻率ρ、磁导率μ、厚度d、线圈与被测体间的距离X，激励线圈的角频率ω等都通过涡流效应和磁效应与线圈阻抗Z发生关系，即Z=f(ρ, μ, X, d， ω）。 ρ、μ、d、X、ω的变化使R、L发生变化，若控制某些参数不变，只改变其中一个参数，可使阻抗 Z 成为这个参数的单值函数。 传感器线圈接入LC振荡回路，作为组成LC振荡器的电感元件。当传感器与被测导体距离x改变时，在涡流影响下，传感器的电感变化，将导致振荡频率的变化，该变化的频率是距离x的函数， ，该频率可由数字频率计直接测量，或者通过f –U 变换，用数字电压表测量对应的电压。 1.调频式测量电路 调频式测量电路框图 电涡流传感器的转换电路 石英振荡器产生稳频、稳幅高频振荡电压用于激励电涡流线圈。金属材料在高频磁场中产生电涡流，引起电涡流线圈端电压的衰减，再经高放、检波、低放电路，最终输出的直流电压U0反映了金属体对电涡流线圈的影响（例如两者之间的距离等参数）。 2.调幅式测量电路 * 距离金属表面Z处涡流按指数规律衰减 -金属表面涡流密度(最大） -金属表面距离Z处的涡流 h-集肤深度 ；ρ-电阻率； μ-磁导率；f-激励信号频率 /e h z 电涡流传感器的类型 集肤效应 故电涡流式传感器可分为高频反射式和低频透射式两类。 1. 高频反射式电涡流传感器 电涡流传感器的类型 高频(lMHz)激励电流产生的高频磁场作用于金属板的表面，由于集肤效应，在金属板表面将形成涡电流。与此同时，该涡流产生的交变磁场又反作用于线圈，引起线圈自感L或阻抗ZL的变化。 发射线圈ω1和接收线圈ω2分别放在被测材料G的上下 低频电压e1加到线圈ω1的两端后,在周围空间产生一交变磁场,并在被测材料G中产生涡流,此涡流损耗了部分能量,使贯穿ω2的磁力线减少,从而使ω2产生的感应电势e2减小。 e2的大小与G的厚度及材料性质有关,实验与理论证明,e2随材料厚度h增加按负指数规律减小。 2. 低频透射式电涡流传感器 电涡流传感器的应用 被 测 参 数 变 换 量 特 征 位移、厚度、振动 （1）?非接触测量，连续测量 （2）?受剩磁的影响。 表面温度 材质判别 （1）非接触测量，连续测量； （2）对温度变化进行补偿 应力、硬度 （1）非接触测量，连续测量； （2）受剩磁和材质影响 探伤 可以定量测量 优点：测量范围大、灵敏度高、结构简单、抗干扰能力强和可非接触测量 1. 位移测量 1—被测件 2—传感器探头 (a) 汽轮机主轴的轴向位移测量示意图 (b) 磨床换向阀、先导阀的位移测量示意图 (c) 金属试件的热膨胀系数测量示意图 2. 振幅测量 汽轮机和空气压缩机常用的监控主轴的径向振动的示意图 通常使用数个传感器探头并排地安置在轴附近，便于了解振动形状，画出轴振形图