第二章第一节电阻式传感器.pptVIP

利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同一硅片上，工艺一致性好。 4.2 电阻式传感器 压阻式 压力传感器 内部结构 信号处理电路 高压进气口 低压进气口 小型压阻式固态压力传感器 投入式液位计外形 压阻式压力传感器 光柱 显示器 橡胶 背压管 h=h0+h1=h0+p1 /（?g） 4 气敏电阻传感器 使用气敏电阻传感器（以下简称气敏电阻），可以把某种气体的成分、浓度等参数转换成电阻变化量，再转换为电流、电压信号。 还原性气体传感器 所谓还原性气体就是在化学反应中能给出电子，化学价升高的气体。还原性气体多数属于可燃性气体，例如石油蒸气、酒精蒸气、甲烷、乙烷、煤气、天然气、氢气等。 测量还原性气体的气敏电阻一般是用SnO2、ZnO或Fe2O3等金属氧化物粉料添加少量铂催化剂、激活剂及其它添加剂，按一定比例烧结而成的半导体器件。 a）气敏烧结体 b）气敏电阻外形 c）基本测量转换电路 1—引脚 2—塑料底座 3—烧结体 4—不锈钢网罩 5—加热电极 6—工作电极 7—加热回路电源 8—测量回路电源 MQN型气敏半导体器件是由塑料底座、电极引线、不锈钢网罩、气敏烧结体以及包裹在烧结体中的两组铂丝组成。一组铂丝为工作电