弯曲波导研究进展及其应用-中国光学.pdf

第１０卷　第２期 　　　　 　　中国光学　　　　　　　 Ｖｏｌ．１０　Ｎｏ．２ 　 　　 　　　　　　　 ２０１７年４月　 　 　 Ａｐｒ．２０１７ ＣｈｉｎｅｓｅＯｐｔｉｃｓ 文章编号　２０９５１５３１（２０１７）０２０１７６１８ 弯曲波导研究进展及其应用 １，２ １ １ １ １ １ １，２ １ １ 高　峰 ，秦　莉 ，陈泳屹 ，贾　鹏 ，陈　超 ，梁　磊 ，陈　红 ，张　星 ，宁永强 （１．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 发光学及应用国家重点实验室，吉林 长春 １３００３３； ２．中国科学院大学，北京１０００４９） 摘要：本文主要分析了弯曲波导损耗机理，包括传输损耗、辐射损耗、模式转换损耗。重点综述了设计低损耗弯曲波导的 方法，包括波导材料、弯曲波导的曲线形状、波导种类、脊型波导的宽度、脊高、弯曲半径、模场分布、弯曲波导曲线形状和 其他新型波导结构等。简要概括了近年来设计和制备低损耗弯曲波导的代表性工作。介绍了弯曲波导在集成光学中的 应用。通过对弯曲波导的损耗及耦合机制理论的不断完善，实现光在较小弯曲半径的低损耗传输，从而提高集成光学的 集成度是弯曲波导今后的发展趋势。 关　键　词：弯曲波导；集成光学；ＳＯＩ；低损耗波导 中图分类号：ＴＮ２５６　　文献标识码：Ａ　　ｄｏｉ：１０．３７８８／ＣＯ０１７６ Ｒｅｓｅａｃｈｐｒｏｇｒｅｓｓｏｆｂｅｎｔｗａｖｅｇｕｉｄｅ ａｎｄｉｔｓａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ １，２ １ １ １ １ ＧＡＯＦｅｎｇ ，ＱＩＮＬｉ，ＣＨＥＮＹｏｎｇｙｉ ，ＪＩＡＰｅｎｇ，ＣＨＥＮＣｈａｏ， １ １，２ １ １ ＬＩＡＮＧＬｅｉ，ＣＨＥＮＨｏｎｇ ，ＺＨＡＮＧＸｉｎｇ，ＮＩＮＧＹｏｎｇｑｉａｎｇ （１．ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅａｎｄＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓ，ＣｈａｎｇｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓ， ＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓ，ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００３３，Ｃｈｉｎａ； ２．ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００４９，Ｃｈｉｎａ） Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇａｕｔｈｏｒ，Ｅｍａｉｌ：ｃｈｅｎｙｙ＠ｃｉｏｍｐ．ａｃ．ｃｎ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｌｏｓｓｍｅｃｈａｎｉｓｍｏｆｂｅｎｔｗａｖｅｇｕｉｄｅｉｎｃｌｕｄｉｎｇｔｈｅｂｅｎｄｉｎｇｌｏｓｓ，ｐｒｏｐａｇａｔｉｏｎｌｏｓｓ，ｒａｄｉａｔｉｏｎｌｏｓｓ ａｎｄｔｈｅｌｏｓｓｏｆｍｏｄｅｃｏｎｖｅｒｓｉｏｎａｒｅｔｈｅｏｒｉｃａｌｌｙａｎａｌｙｓｅｄｉｎｔｈｉｓｐａｐｅｒ．Ｉｔｆｏｃｕｓｅｓｏｎｔｈｅｒｅｖｉｅｗｏｆｔｈｅｄｅｓｉｇｎ ｏｆｌｏｗｌｏｓｓｂｅｎｔｗａｖｅｇｕｉｄｅ，ｉｎｃｌｕｄｉｎｇｍａｔｅｒｉａｌｓ，ｔｈｅｓｈａｐｅｏｆｂｅｎｔｗａｖｅｇｕｉｄｅ，ｓｔｒｉｐｏｒｒｉｂｗａｖｅｇｕｉｄｅ，ｔｈｅ ｗｉｄｔｈ，ｈｅｉｇｈｔａｎｄｒａｄｉｕｓｏｆｔｈｅｂｅｎｔｗａｖｅｇｕｉｄｅ，ｔｈｅｄｉｓｍａｔｃｈｏｆｍｏｄｅ，ｔｈｅｓｈａｐｅｏｆｔｈｅｃｕｒｖｅ