斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析-物理学报.pdf

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 (( !$ $$) !$ ， ， ， X=6 *(( W= * !$ F8B=@., $$) （ ） !$$$2’$Q$$)Q(( !$ Q(!(C2$D RSHR NTUIVSR IVWVSR !$$) S:5; * N:M9 * I=8 * !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析 ）） ）） ）） ）） ） ） ! # ! ! ! ! ! 沈自才 孔伟金 刘世杰 沈 建 邵建达 范正修 !）（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 $!%$$ ） ）（中国科学院研究生院，北京 !$$$’ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$( !$ ) $$) ! !% 斜角入射沉积法是一种制备薄膜的新颖方法，它可以用来制备渐变折射率薄膜 本文首先探讨了膜料的沉积 * 入射角为 ，薄膜柱状生长倾斜角为 时的薄膜的填充系数；之后利用+,-+. 理论，分析研究了斜角入射沉积法制 ! 备渐变折射率薄膜的折射率与薄膜的入射角和生长方向的关系* 关键词：斜角入射沉积，渐变折射率，填充系数 ： ， ， !## !$$/ )%(( %!!(0 斜角入射法制备的多孔螺旋薄膜的光学特性并有望 进一步应用于显示器件上 作者也曾用不同的理论 ! 引 言 * 对单一膜料的折射率与填充密度的关系进行了 ［］ 渐变折射率薄膜是指薄膜的折射率沿着薄膜表 探讨’ * 面的法线方向逐渐变化，而在水平方向上保持不变* 虽然对利用斜角入射沉积法制备渐变折射率薄 它通常也被称为非均匀薄膜* 膜已经进行了一些初步的探索，但是没有对薄膜的 ［］ ［］ ! 除了利用双源共蒸法 和磁控反应溅射法 来 折射率与薄膜的沉积角度与生长微结构的关系进行 实现渐变折射率薄膜的制备外，斜角入射沉积法也 系统的探讨* 本文将通过分析薄膜的微结构，进而