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半导体异质结物理
Physics of Semiconductor Heterojunction;第一章 绪论;通信:传递信息,烽火台,邮驿;
(i) semiconductors have electrical resistivity in the range between those of typical metals and typical insulators (i.e., between about 10-4 and 10-10 Wcm )
(ii) they usually have negative temperature coefficient of resistance,
(iii) the electrical conductivity of semiconductors can be varied (in both sign and magnitude) widely as a function of, e.g., impurity content (e.g., doping, temperature, excess charge carrier injection, and optical excitation.
;1833年:M.Faraday发现半导体所具有的负电阻温度系数
1873年:W.Smith 首次发现半导体的光电导效应
1874年:F.Braun 首次发现半导体的整流效应
1947年:Bardeen, Brattain, Shockley 制造了第一个晶体管:锗点接触三极管 (1956年,获Nobel Prize)
1949年:提出了PN结晶体管的理论
1951年:W.Shockely用扩散技术制造了晶体管
1958年 L. Esaki 研制出隧道二极管
1962-63年 N. G. Basov 研制出半导体激光器
1963年 H. KroemerZ. Alferov提出异质结激光器
1969-70年 L. Esaki R. Tsu 提出半导体超晶格
1993年 S. Nakamura 研制出高亮度GaN蓝光发光二极管
;第一代半导体材料,以Si、Ge为代表
集成电路的主要材料,技术上最成熟,代表人类物质文明的最高水平,广泛应用于计算机和各种电子产品.
第二代半导体材料,以GaAs、InP为代表
光电子器件,LED和LD,光通信,微波功率器件和电路
第三代半导体材料,以GaN、SiC为代表
短波光电子器件,蓝、白光LED,蓝紫光LD,高温、高频、高功率电子器件,高场高功率电力电子器件;Which Materials Are “Semiconductors”?;Which Materials Are Semiconductors?;;Band Diagram;第五节. 半导体的掺杂;Intrinsic Material(本征);n型材料;P型材料;载流子的统计分布;球形等能面导带底状态密度(假设导带底在k=0处); 状态密度gC(E)和gV(E)与能量E有抛物线关系,还与有效质量有关,有效质量大的能带中的状态密度大。;例 计算三维系统在0.1eV能量时的的状态密度;1、费米分布函数
电子遵循费米-狄拉克(Fermi-Dirac)统计分布规律。能量为E的一个独立的电子态被一个电子占据的几率为:
;;T0 时,电子???得一定热能,可以跳到高能级,意味着电子的分布发生了变化。;T0:
1/2 f(E)1,当EEF时
f(E)=1/2, 当E=EF时
0 f(E)1/2,当EEF时;;1960年前后,最早由 H.Kroemer和 Zh.I.Alferou 等提出异质结构的概念。
阿耳费罗夫与克勒默(Kroemer)分享2ooo年诺贝尔物理学奖。
;;异质结概念;异质结:
由不同半导体材料构成的结。
同型异质结
(nN, pP)
异型异质结
(nP or pN);应用1:能带错开可以用来将载流子限制在所需的区域。
例如半导体激光器中的双异质结。;应用2:通过选择异质结两边的材料,可以控制在发光的区域(直接禁带材料)、吸收光的区域和透明的区域(窗口层)。;应用3:异质结两边具有不同折射率的材料,可以用来构成波导,将光限制在选择的区域。;应用4:半导体超晶格;应用5:量子阱;外延生长:
1液相外延
2气相外延:MOCVD
3分子束外延(MBE);P-AlGaN capping layer
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