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第 卷 第 期 中 国 激 光 ,
46 7 Vol.46 No.7
年 月 ,
2019 7 Jul 2019
CHINESEJOURNALOFLASERS y
溶胶 凝胶法制备隔板玻璃三层减反膜
G
, , ,
12∗ 12 23 1 1
, , , ,
熊怀 唐永兴 胡丽丽 沈斌 李海元
1
, ;
中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理重点实验室 上海 201800
2
, ;
中国科学院大学材料与光电研究中心 北京 100049
3
,
中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光单元技术研发中心 上海 201800
、 , ,
摘要 以钛酸正丁酯 正硅酸乙酯为前驱体 在薄膜设计软件的辅助下 采用溶胶 凝胶法在 光学玻璃上制备了
G K9
/ / / . , ,
λ4Gλ2Gλ2膜系宽带减反膜 该膜层的光学性能良好 在 500~900nm波长范围内的平均透过率为 99.25% 透
, ,
过率增益随入射角增加而增大 斜入射光入射角从 增至 仍能有效覆盖钕玻璃的主吸收峰 此时平均透过率增
0° 60°
; , , ,
益从 增至 在 下进行热处理后 膜层具有一定的耐擦拭性能 表面均匀性良好 均方根粗糙度为
7.2% 10.2% 150℃
4.00nm.
; ; ; ;
关键词 材料 溶胶 凝胶法 减反膜 膜层设计 薄膜
G
中图分类号 文献标识码 : /
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