虚拟晶圆加工环境-Silvaco.pdfVIP

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2019-10-01 发布于天津
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虚拟晶圆加工环境是用于实验设计和实验优化的软件工具其分批管理器可用于各种预定义分析方法分割参数可以在的任何工艺器件参数提取以及电路仿真器中使用所有仿真均可在一组工作站或者单个机器上并行运行带有图形用户界面还可对实验结果进行检验可以用于从工艺仿真到电路性能的整个流程中也可以在部分流程中使用掩模工艺参数器件参数电路参数或调整系数之间的任意组合均可定义为输入变量定义实验有几个方法通过实验设计如来自动修改输入参数或通过优化算法如算法用户自定义的脚本或手工修改输入参数强大的脚本接口允许完全自定义在背景运行

VWF 虚拟晶圆加工环境 VWF是用于实验设计（DOE）和实验优化的软件工具。其分批（Split-lots）管理器可用于各种预定义分析方法。分割参数可以在Silvcao的任何工艺、器件、参数提取以及电路仿真器中使用。所有仿真均可在一组工作站或者单个SMP 机器上并行运行。 VWF带有图形用户界面(GUI)，GUI还可对实验结果进行检验。 • VWF可以用于从工艺仿真到SPICE电路性能的整个流程中，也可以在