均压槽对空气静压轴承微振动的影响.docx

文 章 编 号１００４－９２４Ｘ（２０１４）１ 文 章 编 号 １００４－９２４Ｘ（２０１４）１２－３３５４－０６ 均压槽对空气静压轴承微振动的影响 琦１，２＊ ，陈 陈 斌１，蔡 黎 明２ （１．中 国 科学院 长春光学精密机械与物 理 研 究 所 ，吉 林 长 春 １３００３３； ２．中国科 学 院 苏州生物医学工程技术研究所 ，江 苏 苏 州 ２１５１６３） 摘 要 ：由于空气静压轴承工作过程中的微振动制约了它在超精密设备中的应用 ，本文对空气静压轴承的动态 特 性 进 行 了 实 验 分 析 ，并提出用带均压槽的结构设计来解决上述问题 。 运用有限元软件对空气静压轴承进行仿真 ，得到了空气静压 轴承的各项性能参数 。 分析了微振动产生的原因并提出在空气静压轴承工作表面增加均压槽来有效抑制空 气 静 压 轴 承 的 微 振 动 的 方 法 。 通过实验对提出方法进行了验证 ，结 果 显 示 计 算结果与实验具有较好的一致性 。实验表明通过增加 均 压槽的方式可以将轴承微振动降低 ８０％ ，有效地提高了空气轴承的稳 定性和运行精度 。 本研究为抑制空气轴承微振 动和提高整个机床设备精度做出了有益探索 。 关 键 词 ：空 气 静 压 轴 承 ；均 压 槽 ；微 振 动 中 图 分 类 号 ：ＴＨ１３３．３６ 文 献 标 识 码 ：Ａ ｄｏｉ：１０．３７８８／ＯＰＥ３３５４ Ｅｆｆｅｃｔｏｆｅｑｕａｌｉｚｉｎｇｇｒｏｏｖｅｏｎｓｍａｌｌｖｉｂｒａｔｉｏｎｏｆａｅｒｏｓｔａｔｉｃｂｅａｒｉｎｇｓ ＣＨＥＮ Ｑｉ１，２＊ ，ＣＨＥＮ Ｂｉｎ１，ＣＡＩＬｉ－ｍｉｎｇ２ （１．ＣｈａｎｇｃｈｕｎＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＯｐｔｉｃｓ，ＦｉｎｅＭｅｃｈａｎｉｃｓａｎｄＰｈｙｓｉｃｓ， ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｃｈａｎｇｃｈｕｎ１３００３３，Ｃｈｉｎａ； ２．ＳｕｚｈｏｕＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＢｉｏｍｅｄｉｃａｌＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｓｕｚｈｏｕ２１５１６３，Ｃｈｉｎａ） ＊Ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇａｕｔｈｏｒ，Ｅ－ｍａｉｌ：ｃｈｅｎｑｉ＠ｃｉｏｍｐ．ａｃ．ｃｎ Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｓｔｈｅｖｅｒｙｓｍａｌｌｖｉｂｒａｔｉｏｎｏｆａｎａｅｒｏｓｔａｔｉｃｂｅａｒｉｎｇｌｉｍｉｔｓｉｔｓａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｓｉｎｕｌｔｒａ－ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ ｍａｃｈｉｎｉｎｇ，ｔｈｉｓｐａｐｅｒａｎａｌｙｚｅｓｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｌｙｔｈｅｄｙｎａｍｉｃａｌｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆｔｈｅａｅｒｏｓｔａｔｉｃｂｅａｒｉｎｇ ａｎｄｐｒｏｐｏｓｅｓａｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄｅｓｉｇｎｗｉｔｈａｎｅｑｕａｌｉｚｉｎｇｇｒｏｏｖｅｔｏｓｏｌｖｅｔｈｅｐｒｏｂｌｅｍ ｍｅｎｔｉｏｎｅｄａｂｏｖｅ．Ｔｏ ｒｅａｌｉｚｅｔｈｅｍｅｃｈａｎｉｃａｌｃｈａｒａｃｔｅｒｉｓｔｉｃｓｏｆａｅｒｏｓｔａｔｉｃｂｅａｒｉｎｇｓ，ｔｈｅａｎａｌｙｔｉｃａｌｍｏｄｅｌｗａｓｓｅｔｕｐｂｙｕｓｉｎｇ ｔｈｅｆｉｎｉｔｅｅｌｅｍｅｎｔａｎａｌｙｓｉｓｓｏｆｔｗａｒｅＦＬＵＥＮＴａｎｄｔｈｅｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅｐａｒａｍｅｔｅｒｓｏｆｔｈｅａｅｒｏｓｔａｔｉｃｂｅａｒ－ ｉｎｇｗｅｒｅｏｂｔａｉｎｅｄ．Ｔｈｅｍｅｃｈａｎｉｓｍｆｏｒｔｈｅｏｃｃｕｒｒｅｎｃｅｏｆｓｍａｌｌｖｉｂｒａｔｉｏｎｗａｓａｎａｌｙｚｅｄａｎｄｔｈｅｍｅｔｈｏｄｓ ｔｏａｄｄａｎｅｑｕａｌｉｚｉｎｇｇｒｏｏｖｅｏｎｔｈｅｓｕｒｆａｃｅｏｆｔｈｅａｅｒｏｓｔａｔｉｃｂｅａｒｉｎｇｔｏｒｅｄｕｃｅｔｈｅｓｍａｌｌｖｉｂｒａｔｉｏｎｗｅｒｅ ｐｒｏｐｏｓｅｄ．Ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓｗｅｒｅｐｅｒｆｏｒｍｅｄｔｏｖｅｒｉｆｙｔｈｅｐｒｏｐｏｓｅｄ ｍｅｔｈｏｄａｎｄｔｈｅｒｅｓｕｌｔｓｓｈｏｗｔｈａｔ ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｒｅｓｕｌｔｓａｒｅｇｏｏｄｃｏｎｓｉｓｔｅｎｔｗｉｔｈｔｈｅａｎａｌｙｓｉｓｒｅｓｕｌｔｓ．Ｉｔｉｎｄｉｃａｔｅｓｔｈａｔｔｈｅｓｍａｌｌｖｉｂｒａ－ ｔｉｏｎｃａｎｂｅｓｕｃｃｅｓｓｆｕｌｌｙｓｕｐｐｒｅｓｓｅｄｂｙ８０％ ｗｉｔｈｔｈｅｐｒｏｐｏｓｅｄｅｑｕａｌｉｚｉｎｇｇｒｏｏｖｅ，ｗｈｉｃｈｉｍｐｒｏｖｅｓｔｈｅ 收 稿 日 期 ：２０１４－０４－１６；修 订 日 期 ：２０１４－０５－０８． 基 金 项 目 ：国家重大科研仪器设备开发专项基金资助项目 （Ｎｏ 陈 琦 ，等 ：均 压 槽 对 空 气 静 压 轴 承 微 陈 琦 ，等 ：均 压 槽 对 空 气 静 压 轴 承 微 振 动 的 影 响 第 １