第十章 扫描电子显微分析(SEM).pptVIP

第十章 扫描电子显微分析（SEM） Scanning Electron Microscope 扫描电子显微镜的成像原理和透射电子显微镜不同。它不用电磁透镜放大成像，而是以类似电视摄影显像的方式，利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。由于扫描电子显微镜的景深远比光学显微镜大，可以用它进行显微断口分析。用扫描电子显微镜观察断口时，样品不必复制，可直接进行观察，这给分析带来极大的方便。因此，目前显微断口的分析工作大都是用扫描电子显微镜来完成的。 由于电子枪的效率不断提高，使扫描电子显微镜的样品室附近的空间增大，可以装入更多的探测器。因此,目前的扫描电子显微镜不只是分析形貌像．它可以和其它分析仪器相组合，使人们能在同一台仪器上进行形貌、微区成分和晶体结构等多种微观组织结构信息的同位分析。 扫描电镜 从单一的形貌观察（二次电子像）发展 到吸收图象、电子荧光图象、扫描透镜电 子图象、电位对比图象、X射线图象、X 射线显微分析装置、背散射电子衍射等。 扫描电子显微分析（SEM） 应用领域： 地学、材料学、生物学、医学、冶金、刑侦等各行各业。 普通SEM——低真空SEM——环境SEM 金属及一般分析 表面腐蚀 生物样 一、扫描电镜工作原理 图8-1 扫描电镜原理示