第十三章 表面力学性能测定.pptVIP

表面力学性能测定 薄膜硬度和膜基结合强度的 测试和评定 一. 表面硬度测定 1，测薄膜硬度要避免压入时受基体变形的影响，必须采用小载荷压入。 2，传统的显微硬度计在小载荷时受光学系统分辨率的限制，压痕对角线的测量误差随压载减小而急剧增加（对角线小于4mm时，测量精度大为降低）。 3，明确标明压入载荷是显微硬度测量的一个特殊规定，因为不同压载时对应的硬度值不相同。 直接硬度测试法 显微硬度法：维氏硬度，努氏硬度 维氏硬度定义：压入载荷与压痕表面积之比； 努氏硬度定义：压入载荷与压痕投影面积之比。 纳米压入法： 纳米压入硬度定义：压入载荷与压痕的投影面积之比 (a) (b) (c) 维氏、努氏、三棱锥压头形状示意图 A.用显微硬度计测薄膜硬度 较厚的膜可以仿照整体材料的方法测量。 膜较薄时，为避免基体的影响，应尽可能减少压入深度。它取决于膜和基体弹性模量和屈服强度的相对比值。 显微硬度计一般采用维氏压头或努氏压头。努氏压头的压入深度仅为长对角线的1/30.5(维氏压头的压入深度为对角线的1/7)。它更符合薄膜测量的要求,但几何制作上很困难。 B.纳米压入仪测薄膜硬度 优点：1，将压痕对角线的测量转化为压头位移的测量，无需光学观察，可提高分辨率。 2，连续加力可给出整个压入过程