MoS2C复合润滑薄膜的匹制备及摩擦学性能研究.docxVIP

声 声 明 本学位论文是我在导师的指导下取得的研究成果，尽我所知，在 本学位论文中，除了加以标注和致谢的部分外，不包含其他人已经发 表或公布过的研究成果，也不包含我为获得任何教育机构的学位或学 历而使用过的材料。与我一同工作的同事对本学位论文做出的贡献均 已在论文中作了明确的说明。 研究生签名： 泖厂年夕月形日 学位论文使用授权声明 南京理工大学有权保存本学位论文的电子和纸质文档，可以借阅 或上网公布本学位论文的部分或全部内容，可以向有关部门或机构送 交并授权其保存、借阅或上网公布本学位论文的部分或全部内容。对 于保密论文，按保密的有关规定和程序处理。 研究生签名：j垡乏舡 渺弓甩％日 硕士论文 硕士论文 MoS2．C复合润滑薄膜的制备及摩擦学性能研究 摘 要 层状结构的MoS2薄膜具有超低的摩擦系数，作为一种性能优良的固体润滑薄膜 在真空及空间技术领域应用广泛。但是由传统磁控方法制备的MoS2薄膜结构疏松、 硬度低、结合力差以及易与空气中的氧发生反应，限制了其更广范围的应用。为了改 善MoS2薄膜在多环境下的润滑性能，掺杂元素是主要解决途径之一。相对于较为普 遍的金属掺杂，MoS2．C复合薄膜结构致密，能够在潮湿环境下维持较低摩擦系数。 本文主要探索了MoS2．C复合润滑薄膜制备，并采用直流磁控溅射技术以及复合高功 率脉冲磁控溅射技术制备了以Ti为过渡层的MoS2．C复合润滑薄膜，研究了碳掺杂 对复合薄膜结构和性能的影响，探讨了高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)技术制备Ti 过渡层的优点，并着重分析了MoS2．C薄膜多环境下摩擦学性能，讨论了其摩擦润滑 机理。 采用直流磁控沉积技术溅射碳和MoS2复合靶，制备出含碳为量40．9％～73．1％的 MoS2．C复合润滑薄膜，测试结果表明，复合薄膜呈非晶结构，MoS2以非晶的形式弥 散在非晶碳膜结构中，避免了受力时产生的晶间滑移，使MoS2．C薄膜具有较高的硬 度(7．0～10．8 GPa)。HIPIMS制备的Ti过渡层极大地改善了MoS2．C复合润滑薄膜的 膜基结合性能，划痕临界载荷为56N远大于直流磁控工艺的25N。 多环境摩擦测试表明：MoS2．C复合薄膜在不同湿度环境表现出良好的环境适应 性，改变环境湿度，复合薄膜仍维持O．1以下的摩擦系数以及10。7 rnnl3／Nm数量级的 磨损率；氮气环境能够抑制摩擦化学反应的发生，维持了稳定的转移润滑层，使复合 薄膜在该气氛下获得O．02的摩擦系数及10‘8 1Tlnl3／Nm磨损率；固体润滑及油脂的共 同作用使MoS2．C复合薄膜在油环境下表现稳定的、较低的摩擦系数；高温除了能够 促进MoS2的非晶晶化，还会使薄膜表层出现粉末化，在获得极低摩擦系数(0．02) 的同时，摩擦寿命却大幅减小；MoS2．C复合薄膜的摩擦系数和磨损率随着测试载荷 的增加而降低，载荷从3N增大至20N时，摩擦系数由O．08降至0．03，预示薄膜具 有良好的高承载润滑特性。除了上述几点外，在大气环境下，MoS2．C复合润滑薄膜 还具有稳定的摩擦学行为及较长的摩擦寿命。 关键词：MoS2．C复合薄膜；高功率脉冲磁控溅射；微结构；力学性能；多环境摩 擦特性 硕士论文 硕士论文 MoS2．C复合润滑薄膜的制备及摩擦学性能研究 Abstract As a candidate of excellent solid lubricants，MoS2 film has been widely used in the space field due to its excellent lubricant property in vacuum environment．In spite of its successful application in aerospace industry,the pure MoS2 film generally suffers from the humid air environment，which is attributed to its loose structure，low hardness，low adhesion and high chemical activity to oxygen．To improve tribological performance in different environment， doping a tllird element into MoS2 film has been considered as